2013-6 - Lehrstuhl Metallische Werkstoffe, Universität Bayreuth
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Einteilung der kohlenstoffbasierten Schichten<br />
Diamond-like-carbon (DLC) films<br />
Kristalline C-Schichten<br />
crystalline carbon films<br />
Diamantschichten<br />
Doping<br />
elements<br />
hydrogen free<br />
hydrogen containing<br />
metall metall Non-metall<br />
undoped<br />
doped<br />
Structure sp 2 sp 3 sp 2 sp 2 / sp 3 sp 3<br />
sp 2<br />
sp 3<br />
Shortcut a-C ta-C a-C:Me a-C:H ta-C:H a-C:H:Me a-C:H:X<br />
(Me = W, Ti, (X = Si, O,<br />
...) N, F, B)<br />
Other<br />
designations<br />
DLC<br />
DLC<br />
i-C<br />
Diamant<br />
DLC<br />
DLC<br />
Me-DLC<br />
Me-C:H<br />
MeC:H<br />
DLC<br />
X-DLC<br />
Si-DLC<br />
- -<br />
PCD, PD, CVD-diamant<br />
Deposition<br />
process<br />
PVD PVD PVD PA-CVD<br />
PVD<br />
PVD<br />
PA-CVD<br />
PVD<br />
PA-CVD<br />
PVD<br />
PA-CVD<br />
activated CVD<br />
VDI Richtlinie 2840<br />
Die Wärmebehandlung metallischer <strong>Werkstoffe</strong> Dr. Dieter Müller Folie 37<br />
Die Wärmebehandlung metallischer <strong>Werkstoffe</strong> Folie 37<br />
Struktur W-DLC-Schicht<br />
Die Wärmebehandlung metallischer <strong>Werkstoffe</strong> Dr. Dieter Müller Folie 38
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