2013-6 - Lehrstuhl Metallische Werkstoffe, Universität Bayreuth
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Elektronenstrahlverdampfen (Ion-Plating)<br />
Elektronenstrahlquelle<br />
Argon<br />
Reaktionsgas<br />
450 - 500°C<br />
Werkstück<br />
Werkstücke<br />
(-Bias)<br />
Vakuumpumpe<br />
Tiegel (Anode)<br />
Beschichtungsmaterial<br />
Die Wärmebehandlung metallischer <strong>Werkstoffe</strong> Dr. Dieter Müller Folie 29<br />
Arc-Prozeß<br />
Die Wärmebehandlung metallischer <strong>Werkstoffe</strong> Dr. Dieter Müller Folie 30
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