2013-6 - Lehrstuhl Metallische Werkstoffe, Universität Bayreuth
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Funktionelle PVD-Schichten<br />
Schichtmaterial<br />
TiN<br />
TiCN<br />
DLC<br />
WC/C<br />
CrN<br />
TiAlN<br />
TiAlN<br />
TiAlN<br />
+ WC/C<br />
polykristall.<br />
Diamant<br />
Mikrohärte<br />
(HV 0,05)<br />
2’300<br />
3’000<br />
1’000<br />
1’750<br />
3’000<br />
3’500<br />
3’000*<br />
8‘000-<br />
10‘000<br />
Reibwert gegen<br />
Stahl (trocken)<br />
0,4<br />
0,4<br />
0,15 - 0,2<br />
0,5<br />
0,4<br />
0,4<br />
0,15 - 0,2<br />
Schichtdicke<br />
(µm)<br />
(anwendungsbez.)<br />
max.<br />
Anwendungstemperatur<br />
(°C)<br />
1 - 2<br />
3 - 4<br />
600<br />
1 - 2<br />
3 - 4<br />
400<br />
1-4<br />
300<br />
1 - 2<br />
3 - 4 / 10<br />
700<br />
1 - 2<br />
3 - 5<br />
800<br />
1 - 2<br />
3 - 4<br />
800<br />
1 - 3<br />
4 - 6<br />
800*<br />
6-20<br />
800<br />
Schichtfarbe<br />
gold-gelb<br />
blau-grau<br />
silber-grau<br />
violett-grau<br />
schwarzgrau<br />
violettgrau<br />
dunkelgrau<br />
hell-grau<br />
Schichtaufbau<br />
Monolayer<br />
mehrlagig,<br />
gradiert<br />
lamellar<br />
Monolayer<br />
Multilayer<br />
Monolayer<br />
mehrlagig,<br />
lamellar<br />
polykristallin<br />
*bezogen auf TiAlN<br />
Die Wärmebehandlung metallischer <strong>Werkstoffe</strong> Dr. Dieter Müller Folie 33<br />
Funktionelle PVD-Schichten<br />
Die Wärmebehandlung metallischer <strong>Werkstoffe</strong> Dr. Dieter Müller Folie 34
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