2013-6 - Lehrstuhl Metallische Werkstoffe, Universität Bayreuth
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Die Wärmebehandlung metallischer <strong>Werkstoffe</strong> Dr. Dieter Müller Folie 49<br />
CVD<br />
CVD:<br />
Chemical Vapour Deposition<br />
Chemische Abscheidung aus der Dampfphase<br />
z.B. TiC- Herstellung<br />
TiCl 4 + CH 4<br />
→ TiC + 4HCl<br />
Energiequellen:<br />
-Thermisch<br />
-Widerstands – oder Induktionsheizung<br />
-Wolfram Glühfaden<br />
-Optisch<br />
-UV<br />
-Laser<br />
-Plasma (PACVD)<br />
Die Wärmebehandlung metallischer <strong>Werkstoffe</strong> Dr. Dieter Müller Folie 50
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