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PhYsik und Industrie - Felix Wuersten

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ZUSAMMENARBEIT KONKRET<br />

Zusammenarbeit als gute, problemlose<br />

Erfahrung, die man auch mit anderen<br />

Projekten fortführen will.<br />

Im ETH-Labor für Laserspektroskopie<br />

<strong>und</strong> Analytik wird in der Zwischenzeit<br />

am Feinschliff gearbeitet.<br />

Letzte Versuche werden im Stahlrohr<br />

durchgeführt, die Apparatur – im Jargon<br />

als Cavity-Ring-Down-Spektroskopie<br />

bezeichnet – an ihre Grenzen<br />

geführt.<br />

Die Messung, das zeigt das Signal<br />

auf dem Computerschirm, kann zuverlässig<br />

weniger als 60 Acetylenteilchen<br />

in 1 Milliarde Gasteilchen nachweisen!<br />

Eine beachtliche Leistung <strong>und</strong><br />

gute Voraussetzungen, dass die Apparatur<br />

zur Marktreife weiterentwickelt<br />

wird. Für die ETH ist das Projekt mit<br />

dem Abschluss der Dissertation von<br />

Daniel Vogler vorerst beendet.<br />

Sollte die Apparatur dereinst tatsächlich<br />

in einem petrochemischen<br />

Betrieb stehen, wird sie den Herstellungsprozess<br />

von Ethylen überwachen.<br />

Denn kleinste Verunreinigungen von<br />

Acetylen haben einen grossen ökonomischen<br />

Verlust zur Folge: die ganze<br />

Charge muss verbrannt werden.<br />

Michael Breu<br />

Kontakt:<br />

Prof. Markus W. Sigrist, Institut für Quantenelektronik,<br />

ETH Zürich.<br />

Web: www.iqe.ethz.ch/irp/<br />

Dr. Hubert Brändle, ABB Schweiz AG,<br />

Corporate Research, 5405 Baden-Dättwil<br />

Web: www.abb.ch/<br />

Gut verb<strong>und</strong>en<br />

Die Herstellung von elektrischen Verbindungen zu integrierten Schaltkreisen<br />

erfordert höchste Präzision. Das Labor für Physikalische Elektronik<br />

der ETH Zürich entwickelte zusammen mit der Firma ESEC Mikrosensoren,<br />

welche diesen Prozess überwachen.<br />

Drahtverbindungen, so genannte Wirebonds,<br />

werden in der Mikroelektronikfertigung<br />

benutzt, um elektrischen<br />

Kontakt zu integrierten Schaltkreisen<br />

herzustellen. Der Physiker Michael<br />

Mayer, der bis 2004 selbst bei der Firma<br />

ESEC AG in Cham tätig war, ist<br />

mit den Raffinessen von Bondprozessen<br />

bestens vertraut. Bereits während<br />

seiner Doktorarbeit an der ETH Zürich<br />

hat er zusammen mit der Firma<br />

ESEC an einem gemeinsamen Forschungsprojekt<br />

gearbeitet. Die Firma,<br />

mittlerweile Teil der Unaxis-Division<br />

«Unaxis Assembly and Packaging»,<br />

stellt so genannte Bondautomaten<br />

her. Dabei will sie eine möglichst<br />

hohe Präzision <strong>und</strong> Geschwindigkeit<br />

beim Ziehen der Bonds erzielen.<br />

Mayer schildert, dass sich die ESEC<br />

mit einer klar definierten Idee an die<br />

ETH gewandt hat, nämlich Mikrosensoren<br />

zu entwickeln, die Temperatur,<br />

Bondstärke <strong>und</strong> Anpressdruck beim<br />

Erstellen der Wirebonds registrieren.<br />

«Mittels Mikrosensoren wollten wir<br />

das Prozessfenster beim Erstellen der<br />

Bonds genau charakterisieren. Uns<br />

ging es darum, optimale Bondqualität<br />

in möglichst kurzer Zeit zu erzielen.»<br />

Die Kollaboration mit den Professoren<br />

Henry Baltes <strong>und</strong> Andreas Hierlemann<br />

sowie zeitweise Oliver Paul<br />

<strong>und</strong> Oliver Brand, die mittlerweile<br />

Professuren im Ausland angenommen<br />

haben, bezeichnet Mayer als sehr bereichernd<br />

– nicht nur, weil die ETH<br />

über einzigartige Mikrosensor-Technologie<br />

verfügte.<br />

Attraktiver Partner<br />

«Die Zusammenarbeit mit der ESEC<br />

lief über mehrere Jahre hinweg», erinnert<br />

sich ETH-Professor Hierlemann.<br />

«In den letzten vier Jahren hat Michael<br />

Mayer zusammen mit Professor Baltes<br />

<strong>und</strong> dem Doktoranden Jürg Schwizer<br />

das Projekt verfolgt.» Baltes <strong>und</strong> Hierlemann<br />

bestätigen, dass die Entwicklung<br />

der Mikrosensoren im Auftrag<br />

der ESEC stattgef<strong>und</strong>en hat. «Die Forschung<br />

im Bereich Mikrosensor-Technologie<br />

hat uns zu einem attraktiven<br />

Partner für die <strong>Industrie</strong> gemacht.»<br />

Allerdings wäre es nicht sinnvoll,<br />

ausschliesslich Auftragsforschung für<br />

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