PhYsik und Industrie - Felix Wuersten
PhYsik und Industrie - Felix Wuersten
PhYsik und Industrie - Felix Wuersten
Erfolgreiche ePaper selbst erstellen
Machen Sie aus Ihren PDF Publikationen ein blätterbares Flipbook mit unserer einzigartigen Google optimierten e-Paper Software.
ZUSAMMENARBEIT KONKRET<br />
Zusammenarbeit als gute, problemlose<br />
Erfahrung, die man auch mit anderen<br />
Projekten fortführen will.<br />
Im ETH-Labor für Laserspektroskopie<br />
<strong>und</strong> Analytik wird in der Zwischenzeit<br />
am Feinschliff gearbeitet.<br />
Letzte Versuche werden im Stahlrohr<br />
durchgeführt, die Apparatur – im Jargon<br />
als Cavity-Ring-Down-Spektroskopie<br />
bezeichnet – an ihre Grenzen<br />
geführt.<br />
Die Messung, das zeigt das Signal<br />
auf dem Computerschirm, kann zuverlässig<br />
weniger als 60 Acetylenteilchen<br />
in 1 Milliarde Gasteilchen nachweisen!<br />
Eine beachtliche Leistung <strong>und</strong><br />
gute Voraussetzungen, dass die Apparatur<br />
zur Marktreife weiterentwickelt<br />
wird. Für die ETH ist das Projekt mit<br />
dem Abschluss der Dissertation von<br />
Daniel Vogler vorerst beendet.<br />
Sollte die Apparatur dereinst tatsächlich<br />
in einem petrochemischen<br />
Betrieb stehen, wird sie den Herstellungsprozess<br />
von Ethylen überwachen.<br />
Denn kleinste Verunreinigungen von<br />
Acetylen haben einen grossen ökonomischen<br />
Verlust zur Folge: die ganze<br />
Charge muss verbrannt werden.<br />
Michael Breu<br />
Kontakt:<br />
Prof. Markus W. Sigrist, Institut für Quantenelektronik,<br />
ETH Zürich.<br />
Web: www.iqe.ethz.ch/irp/<br />
Dr. Hubert Brändle, ABB Schweiz AG,<br />
Corporate Research, 5405 Baden-Dättwil<br />
Web: www.abb.ch/<br />
Gut verb<strong>und</strong>en<br />
Die Herstellung von elektrischen Verbindungen zu integrierten Schaltkreisen<br />
erfordert höchste Präzision. Das Labor für Physikalische Elektronik<br />
der ETH Zürich entwickelte zusammen mit der Firma ESEC Mikrosensoren,<br />
welche diesen Prozess überwachen.<br />
Drahtverbindungen, so genannte Wirebonds,<br />
werden in der Mikroelektronikfertigung<br />
benutzt, um elektrischen<br />
Kontakt zu integrierten Schaltkreisen<br />
herzustellen. Der Physiker Michael<br />
Mayer, der bis 2004 selbst bei der Firma<br />
ESEC AG in Cham tätig war, ist<br />
mit den Raffinessen von Bondprozessen<br />
bestens vertraut. Bereits während<br />
seiner Doktorarbeit an der ETH Zürich<br />
hat er zusammen mit der Firma<br />
ESEC an einem gemeinsamen Forschungsprojekt<br />
gearbeitet. Die Firma,<br />
mittlerweile Teil der Unaxis-Division<br />
«Unaxis Assembly and Packaging»,<br />
stellt so genannte Bondautomaten<br />
her. Dabei will sie eine möglichst<br />
hohe Präzision <strong>und</strong> Geschwindigkeit<br />
beim Ziehen der Bonds erzielen.<br />
Mayer schildert, dass sich die ESEC<br />
mit einer klar definierten Idee an die<br />
ETH gewandt hat, nämlich Mikrosensoren<br />
zu entwickeln, die Temperatur,<br />
Bondstärke <strong>und</strong> Anpressdruck beim<br />
Erstellen der Wirebonds registrieren.<br />
«Mittels Mikrosensoren wollten wir<br />
das Prozessfenster beim Erstellen der<br />
Bonds genau charakterisieren. Uns<br />
ging es darum, optimale Bondqualität<br />
in möglichst kurzer Zeit zu erzielen.»<br />
Die Kollaboration mit den Professoren<br />
Henry Baltes <strong>und</strong> Andreas Hierlemann<br />
sowie zeitweise Oliver Paul<br />
<strong>und</strong> Oliver Brand, die mittlerweile<br />
Professuren im Ausland angenommen<br />
haben, bezeichnet Mayer als sehr bereichernd<br />
– nicht nur, weil die ETH<br />
über einzigartige Mikrosensor-Technologie<br />
verfügte.<br />
Attraktiver Partner<br />
«Die Zusammenarbeit mit der ESEC<br />
lief über mehrere Jahre hinweg», erinnert<br />
sich ETH-Professor Hierlemann.<br />
«In den letzten vier Jahren hat Michael<br />
Mayer zusammen mit Professor Baltes<br />
<strong>und</strong> dem Doktoranden Jürg Schwizer<br />
das Projekt verfolgt.» Baltes <strong>und</strong> Hierlemann<br />
bestätigen, dass die Entwicklung<br />
der Mikrosensoren im Auftrag<br />
der ESEC stattgef<strong>und</strong>en hat. «Die Forschung<br />
im Bereich Mikrosensor-Technologie<br />
hat uns zu einem attraktiven<br />
Partner für die <strong>Industrie</strong> gemacht.»<br />
Allerdings wäre es nicht sinnvoll,<br />
ausschliesslich Auftragsforschung für<br />
11