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Märkte + Technologien
Bilder: Infi neon
Für die Fertigung von 300-mm-Wafern hat Infineon in Villach eine neue
Pilotlinie aufgebaut.
kein Problem: „Bei der Fortentwicklung unserer Fertigung denken
wir vor allem an die Technologie, weniger an Marktzyklen“. Das
verwundert kaum bei drei Jahren Entwicklungszeit. Der Vorteil
dabei ist, dass Infineon dann sehr schnell auf steigende Nachfrage
reagieren kann.
Das heutige, durchgängig qualifizierte Fertigungskonzept für die
CoolMOS-Produkte mit dem Front-End-Standort Villach und der
Montage der dünnen Chips im Back-End-Standort in Malakka
(Malaysia) wird in der nächsten Ausbaustufe durch den Front-
End-Standort Dresden erweitert. Hier liegt der Schwerpunkt auf
der Hochvolumenfertigung in einer vollautomatisierten 300-mm-
Linie. In entsprechenden Forschungsprojekten wird in Dresden
die Basis für die erforderlichen Prozesse und Fertigungstechniken
entwickelt – viel Know-how dazu stammt aus den von Qimonda
übernommenen Fertigungsräumen und -Maschinen.. In Villach
ist bei der Fertigung derzeit noch vergleichsweise viel Handarbeit
nötig. Langfristig geht Dr. Ploss davon aus, dass Infineon 60 bis 70
Prozent des Volumens in Dresden fertigt und die restlichen 30 bis
Auf einen Blick
300-mm-Wafer-Fertigung
In der Digitalelektronik sind 300-mm-Wafer längst Stand der Technik,
doch bei Leistungshalbleitern galten sie bislang als unrentabel. Infi -
neon hat dennoch investiert und präsentiert nun die erste marktreife
Fertigung auf 300-mm-Dünnschichtwafern mit CoolMOS C3 und C6
(beide 600 V).
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40 Prozent weiterhin in Villach. In Villach werden demnächst weitere
Leistungshalbleiter-Technologien auf die 300-Millimeter-Linie
transferiert und gefertigt.
Die Entwicklung der kommenden Power-Technologie wird
schwerpunktmäßig auf 300- statt auf 200-Millimeter-Dünnwafern
vorangetrieben. Zu diesen diskreten Halbleitern gehören neben
den CoolMOS-Transistoren für Spannungen bis zu 900 V, auch
SiC-Dioden oder IGBTs sowie Niedervolt-MOSFETs.
In das vor drei Jahren begonnene 300-mm-Projekt investierte
der Halbleiterhersteller in die Standorte Villach und Dresden etwa
250 Millionen Euro. Dazu gehören die neue Fertigungslinie in Villach.
Hier fertigt erstmals eine Fab auf zwei Etagen. Gut 100 Millionen
investierte Infineon in die Übernahme eines Teils der ehemaligen
Qimonda-Fertigung in Dresden. (lei/ah)
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Die Autoren: Andrea Hackbarth ist Redakteurin der
Fachzeitschrift elektronik industrie und Dipl.-Ing. für
Produktionstechnik. Achim Leitner ist Chefredakteur
von all-electronics.de.
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