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Verfügbare Gewerbefläche in Hektar - Ostwürttemberg in Zahlen

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werden müssen. Und bei Carl Zeiss<br />

s<strong>in</strong>d bereits Optiksysteme der nächsten<br />

Generation <strong>in</strong> der Entwicklung.<br />

Erste Prototypen für die sogenannte<br />

EUV-Lithografie s<strong>in</strong>d Mitte 2006 e<strong>in</strong>geführt<br />

worden. Sie bereiten den Boden<br />

für noch höhere Chipleistungen vor,<br />

dank derer auch die E<strong>in</strong>satzfelder von<br />

Mikrochips immer weiter ausgedehnt<br />

werden. So schafft sich diese Industrie<br />

ständiges Wachstumspotenzial.<br />

Um über das gesamte Bildfeld e<strong>in</strong>er<br />

Lithografieoptik von 24x36 mm<br />

diese extreme Auflösung zu gewährleisten,<br />

arbeiten die Entwickler und Ingenieure<br />

bei Carl Zeiss an den Grenzen<br />

des physikalisch-technisch Machbaren.<br />

Kernstücke der heutigen Optiksysteme<br />

s<strong>in</strong>d mehrere Dutzend L<strong>in</strong>sen<br />

aus Quarzglas oder Kalziumfluoridkristallen.<br />

Für diese müssen optische<br />

Flächen produziert werden, die e<strong>in</strong>e<br />

Genauigkeit von wenigen Atomlagen<br />

haben: e<strong>in</strong>e fertigungs- und messtechnisch<br />

hochkomplexe Aufgabe der Nanotechnologien.<br />

Geme<strong>in</strong>same Forschung<br />

Von wachsender Bedeutung s<strong>in</strong>d<br />

asphärische L<strong>in</strong>senoberflächen. Hier<br />

forscht Carl Zeiss im <strong>in</strong>ternationalen<br />

Verbund und geme<strong>in</strong>sam mit Hochschulen<br />

<strong>in</strong> Baden-Württemberg. Zusammen<br />

mit dem Institut für Technische<br />

Optik der Uni Stuttgart wurde e<strong>in</strong>e<br />

spezielle Prüftechnik mit computergenerierten<br />

Hologrammen entwickelt.<br />

Doch die fehlerfreie Optikproduktion<br />

ist nur die Hälfte: Erst das perfekte<br />

Zusammenspiel der L<strong>in</strong>sen im Zusammenbau<br />

zum Objektiv ermöglicht die<br />

Abbildung fe<strong>in</strong>ster Chipstrukturen.<br />

Nach der Montage wird die Optik auf<br />

Höchstleistung getrimmt.<br />

Das Moore´sche Gesetz (nach Gordon<br />

Moore, Mitbegründer von Intel)<br />

besagt, dass sich alle 18 Monate die<br />

Chipleistung verdoppelt. Die E<strong>in</strong>haltung<br />

dieser Vorhersage bis heute ist auf<br />

die beständige Weiterentwicklung der<br />

optischen Lithografie zurückzuführen.<br />

Für die Zukunft bedeutet dies, Technologien<br />

bereitzustellen, mit denen<br />

Chipstrukturen deutlich unter 0,05 μm<br />

abgebildet werden können. Mit dem<br />

Übergang von UV-Licht h<strong>in</strong> zu Röntgenlicht<br />

wird mit der EUV-Lithografie<br />

e<strong>in</strong>e Technologie entwickelt, die dieses<br />

Potenzial bietet. Erste Entwicklungssysteme<br />

mit neuesten Spiegeloptiken von<br />

Carl Zeiss s<strong>in</strong>d bei Konsortien führender<br />

Chiphersteller <strong>in</strong>stalliert. Es kommt<br />

also entscheidend auf die Optik an,<br />

wenn es um die Zukunft der Elektronik<br />

geht. Deshalb spricht man vom<br />

21. Jahrhundert als dem Jahrhundert<br />

des Photons, das dem Jahrhundert des<br />

Elektrons folgt.<br />

<strong>Ostwürttemberg</strong> ist mit starker optischer<br />

Industrie und erstklassigen Ausbildungse<strong>in</strong>richtungen<br />

gut gerüstet, <strong>in</strong><br />

diesem Zeitalter e<strong>in</strong>e wichtige Rolle zu<br />

spielen. Die wissenschaftlich-technische<br />

Vere<strong>in</strong>igung „Photonics BW e.V.“<br />

<strong>in</strong> Oberkochen koord<strong>in</strong>iert Aktivitäten,<br />

um die Standortbed<strong>in</strong>gungen weiter<br />

zu verbessern.<br />

Leistungen wie die Erfolge <strong>in</strong> der<br />

Lithografieoptik erfordern Innovationsgeist<br />

und Erfahrung, Kreativität<br />

und Beharrlichkeit. Dies ist nur mit<br />

hoch qualifizierten Mitarbeitern möglich.<br />

Wissenschaftler und Ingenieure,<br />

Forscher und Fertigungsspezialisten<br />

müssen zusammenwirken, um im<br />

weltweiten Wettbewerb vorne zu bleiben.<br />

Hier bieten sich immer attraktive<br />

Chancen – auch für qualifizierte Facharbeiter.<br />

Carl Zeiss spielt <strong>in</strong> der Optoelektronik<br />

e<strong>in</strong>e Vorreiterrolle. <strong>Ostwürttemberg</strong><br />

verdankt dieser Höchstleistung<br />

Arbeitsplätze auf höchstem Niveau.<br />

Dr. Dieter Kurz<br />

In der Mediz<strong>in</strong>technik ist<br />

Carl Zeiss mit se<strong>in</strong>er Innovationskraft<br />

weltführend.<br />

Der Femtosekundenlaser<br />

VisuMax ermöglicht es,<br />

schneller und präziser zu<br />

operieren.<br />

Moderne Nachrichtenübermittlung<br />

ist ohne Mikrochip<br />

nicht denkbar.<br />

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