3-2016

Qualitätssicherung/Messtechnik
Inspektionssystem für die Halbleiterindustrie
Die NanoFocus AG, Entwickler
und Hersteller optischer 3D-Oberflächenmesstechnik,
präsentierte im
Rahmen des IS-Test Workshops in
München das neue Messsystem
µsprint hp-opc 3000 für die optische
Inspektion von Probe Cards. Es
ermöglicht einen innovativen und
zukunftsweisenden Prozessschritt
in der Wafer-Produktion. Der Prozess
ist speziell auf die Bedürfnisse
von Wafertest-Standorten mit
einer Vielzahl verschiedener Probe
Cards sowie einen großvolumigen
Durchsatz ausgelegt. Eine Pilotanlage
befindet sich bereits bei einem
namhaften Hersteller von Halbleiterelementen
im Einsatz.
Probe Cards sind spezielle Testvorrichtungen,
die bei einem standardmäßigen
Funktionstest von
Wafern am Ende der sogenannten
Frontend-Prozesse, also nach
vollständiger Herstellung der funktionalen
Strukturen der elektronischen
Elemente auf einem Wafer,
zum Einsatz kommen. Die Aufgabe
des µsprint-hp-opc-3000-Systems
ist die Sicherstellung von unversehrten
Wafern nach dem Testvorgang,
die Reduzierung von Yield
Verlusten sowie die zeitliche und
zahlenmäßige Minimierung aufwendiger
Instandhaltungszyklen,
welche Probe Cards regelmäßig
durchlaufen.
Da Wafer nach der vollständigen
Herstellung der funktionalen Strukturen
den bedeutendsten Teil der
Wertschöpfung bereits durchlaufen
haben, stellen Beschädigungen während
des Testvorgangs einen erheblichen
wirtschaftlichen Schaden dar.
Zudem können während des Tests
von Wafern Schäden durch fehlerhafte
Probe Cards entstehen. Solche
fehlerhaften Probe Cards können
zwar zu einem korrekten Ergebnis
des funktionalen Tests führen,
jedoch einen Wafer dabei unbemerkt
derart schädigen, dass dieser
nicht mehr verwendungsfähig
ist. Solche Vorkommnisse bedeuten
zum einen wirtschaftliche Schäden
durch Rückholaktionen und zum
anderen eine minimierte Qualitätswahrnehmung
der gelieferten Produkte
auf Kundenseite. Die Verkürzung
beziehungsweise die Präzisierung
von Reparaturzyklen durch
den Einsatz von µsprint hp-opc
3000 leisten darüber hinaus einen
wichtigen Beitrag zur Reduzierung
operativer Kosten beim Einsatz von
Probe Cards.
Das System µsprint hp-opc 3000
ist ein prozessfähiges Kapazitätstool.
Es kann über eine SECS/GEM
Kommunikationsschnittstelle in Prozessleitsysteme
integriert werden
und folgt allen notwendigen und
gängigen Standards, die in Frontend-Wafertest-Standorten
erforderlich
sind.
NanoFocus AG
www.nanofocus.de
Berührungslos messen in der industriellen Qualitätssicherung
Das Industrie-Vibrometer
IVS-400 misst berührungslos den
Körperschall und die akustische
Signatur von Bauteilen und liefert
damit Informationen über die
Ferti gungsqualität beziehungsweise
über die Einhaltung von
Geräuschgrenzwerten. Durch Einbindung
des Vibrometers in den
Produktionsprozess wird eine fertigungsintegrierte
Echtzeit-Qualitätskontrolle
der Bauteile mit
einer schnellen und sicheren Gut/
Schlecht-Unterscheidung möglich.
Das IVS-400 hilft damit, nachhaltig
die Produktqualität zu sichern,
Pseudo-Ausschussraten zu reduzieren
und somit die Wirtschaftlichkeit
des Fertigungsprozesses
zu steigern.
Industrie-Vibrometer von Polytec
bieten die bewährten Vorteile
berührungsloser Schwingungsmesstechnik
in robuster Ausführung
und in einer kompakten Baueinheit.
Dank modernster digitaler
DESPEC-Technologie gewährleistet
das IVS-400 Industrie-
Vibrometer optimale Messergebnisse
auf allen Oberflächen unabhängig
vom Hintergrundgeräusch.
Der berührungslos arbeitende
Sensor weist keinen Verschleiß
auf und kommt ohne Zustellmechanik
oder Schallisolierung
aus. Das schnelle Messprinzip
macht dabei sehr kurze Taktzeiten
möglich. Somit ist er der optimale
Sensor für die prozessintegrierte
akustische Güteprüfung im Frequenzbereich
bis 22 kHz.
Polytec GmbH
www.polytec.de
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