plasmatis - INP Greifswald
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Geschichtete Mikroentladungen<br />
Problemstellung<br />
Die Stabilität und reproduzierbarkeit eines Plasmas ist äußerst<br />
wichtig für seinen industriellen Einsatz. Ein interessantes<br />
Phänomen, das erstmalig an transienten Mikroentladungen<br />
bei Atmosphärendruck beobachtet werden konnte, war<br />
das Auftreten von stehenden Schichten in Einzelfilamenten<br />
einer asymmetrischen, dielektrisch behinderten Entladung<br />
in Argon. Die charakterisierung des Existenzbereiches dieser<br />
Schichten stellt die grundlage dar, geeignete und wohldefinierte<br />
Plasmen zu erzeugen.<br />
Lösungsansatz<br />
Durch systematische variation der Betriebsparameter sollen<br />
die Existenzbereiche geschichteter Mikroentladungen ermittelt<br />
werden. Die raum-zeitliche Entwicklung der geschichteten<br />
Mikroentladungen soll erfasst werden und Aufschluss<br />
über den charakter der Entladung liefern. Die experimentelle<br />
Ermittlung relevanter Parameter soll plasmaphysikalische<br />
ähnlichkeitsbetrachtungen ermöglichen, die durch die Anwendung<br />
hydrodynamischer und elektronenkinetischer Modelle<br />
ergänzt werden.<br />
Technologischer Nutzen<br />
Durch die Arbeiten werden die Gültigkeit und die Grenzen<br />
bekannter ähnlichkeitsgesetze nachgewiesen bzw. betrachtet.<br />
Die Anwendung von ähnlichkeitsgesetzen kann zukünftig<br />
das Design und den Aufbau anwendungsrelevanter<br />
Atmosphärendruckplasmaquellen unterstützen und deren<br />
Effektivität steigern. Des Weiteren liefern die Arbeiten Betriebsparameterbereiche<br />
für den stabilen, reproduzierbaren<br />
Plasmabetrieb, wie er auch in vielen Anwendungen benötigt<br />
wird. Die erarbeiteten Simulationstools können anschließend<br />
für die Modellierung von Prozessplasmen eingesetzt<br />
werden.<br />
FOrSchUngSSchWErPUnKt - SchADStOFFABBAU<br />
Wissenschaftliche Ergebnisse 2010/2011<br />
Die Existenzbereiche geschichteter Mikroentladungen konnten<br />
ermittelt werden. Sie sind durch die Wahl der Betriebsparameter<br />
gasdurchsatz und Amplitude der Betriebsspannung<br />
bestimmt. Die raum-zeitliche Entwicklung der geschichteten<br />
Mikroentladungen konnte durch simultane Erfassung des<br />
Entladungsstromes und der räumlichen Entladungsstruktur<br />
mittels intensivierter ccD-Kamera erfasst werden. Durch<br />
eine Parameterbetrachtung konnte die plasmaphysikalische<br />
ähnlichkeit zur geschichteten Säule einer gleichstrom-Mitteldruckentladung<br />
gezeigt werden. Die Analyse der Kinetik<br />
der Elektronen basierend auf der Lösung der Elektronen-<br />
Boltzmanngleichung zeigte, dass die Ausbildung der Schichten<br />
durch die räumliche relaxation der Elektronen aufgrund<br />
einer lokalen Störung im Kathodenfallgebiet hervorgerufen<br />
wird. Die hydrodynamische Modellierung verdeutlichte, dass<br />
diese einem periodischen Verhalten unterliegt.<br />
Entladungszelle und Beispiel einer geschichteten Mikroentladung<br />
Räumliche Entwicklung der Dichte und mittleren Energie der Elektronen<br />
(Modell)<br />
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