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plasmatis - INP Greifswald

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Geschichtete Mikroentladungen<br />

Problemstellung<br />

Die Stabilität und reproduzierbarkeit eines Plasmas ist äußerst<br />

wichtig für seinen industriellen Einsatz. Ein interessantes<br />

Phänomen, das erstmalig an transienten Mikroentladungen<br />

bei Atmosphärendruck beobachtet werden konnte, war<br />

das Auftreten von stehenden Schichten in Einzelfilamenten<br />

einer asymmetrischen, dielektrisch behinderten Entladung<br />

in Argon. Die charakterisierung des Existenzbereiches dieser<br />

Schichten stellt die grundlage dar, geeignete und wohldefinierte<br />

Plasmen zu erzeugen.<br />

Lösungsansatz<br />

Durch systematische variation der Betriebsparameter sollen<br />

die Existenzbereiche geschichteter Mikroentladungen ermittelt<br />

werden. Die raum-zeitliche Entwicklung der geschichteten<br />

Mikroentladungen soll erfasst werden und Aufschluss<br />

über den charakter der Entladung liefern. Die experimentelle<br />

Ermittlung relevanter Parameter soll plasmaphysikalische<br />

ähnlichkeitsbetrachtungen ermöglichen, die durch die Anwendung<br />

hydrodynamischer und elektronenkinetischer Modelle<br />

ergänzt werden.<br />

Technologischer Nutzen<br />

Durch die Arbeiten werden die Gültigkeit und die Grenzen<br />

bekannter ähnlichkeitsgesetze nachgewiesen bzw. betrachtet.<br />

Die Anwendung von ähnlichkeitsgesetzen kann zukünftig<br />

das Design und den Aufbau anwendungsrelevanter<br />

Atmosphärendruckplasmaquellen unterstützen und deren<br />

Effektivität steigern. Des Weiteren liefern die Arbeiten Betriebsparameterbereiche<br />

für den stabilen, reproduzierbaren<br />

Plasmabetrieb, wie er auch in vielen Anwendungen benötigt<br />

wird. Die erarbeiteten Simulationstools können anschließend<br />

für die Modellierung von Prozessplasmen eingesetzt<br />

werden.<br />

FOrSchUngSSchWErPUnKt - SchADStOFFABBAU<br />

Wissenschaftliche Ergebnisse 2010/2011<br />

Die Existenzbereiche geschichteter Mikroentladungen konnten<br />

ermittelt werden. Sie sind durch die Wahl der Betriebsparameter<br />

gasdurchsatz und Amplitude der Betriebsspannung<br />

bestimmt. Die raum-zeitliche Entwicklung der geschichteten<br />

Mikroentladungen konnte durch simultane Erfassung des<br />

Entladungsstromes und der räumlichen Entladungsstruktur<br />

mittels intensivierter ccD-Kamera erfasst werden. Durch<br />

eine Parameterbetrachtung konnte die plasmaphysikalische<br />

ähnlichkeit zur geschichteten Säule einer gleichstrom-Mitteldruckentladung<br />

gezeigt werden. Die Analyse der Kinetik<br />

der Elektronen basierend auf der Lösung der Elektronen-<br />

Boltzmanngleichung zeigte, dass die Ausbildung der Schichten<br />

durch die räumliche relaxation der Elektronen aufgrund<br />

einer lokalen Störung im Kathodenfallgebiet hervorgerufen<br />

wird. Die hydrodynamische Modellierung verdeutlichte, dass<br />

diese einem periodischen Verhalten unterliegt.<br />

Entladungszelle und Beispiel einer geschichteten Mikroentladung<br />

Räumliche Entwicklung der Dichte und mittleren Energie der Elektronen<br />

(Modell)<br />

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