plasmatis - INP Greifswald

15. Kettlitz, M.; höft, h.; hoder, t.; Brandenburg, r.; reuter,
S.; Weltmann, K.-D.:
Investigation on the spatio-temporal devolment of
pulsed dielectric barrier microdischarges in air
Proc. 30th IcPIg 179_c10 (2011) 1-4
16. Kolipaka, K.l.; Brüser, v.; Quade, A.; Schäfer, J.; Wulff,
H.; Faupel, F.:
Structural and optical characterization of spinel type cobalt
oxide nanoparticles embedded in amorphous silicon
oxide matrix prepared by a hybrid PVD /PECVD process
Proc. 20th ISPc (2011) nr. 277
17. Kozakov, r.; gött, g.; Eichhoff, D.; Kurz, A.; Uhrlandt, D.:
Spectroscopic diagnostics of a switching arc in carbon
dioxide atmosphere
Proc. 19th Symp. on Physics of Switching Arc FSO (2011)
251-254
18. lang, n.; zimmermann, S.; Uhlig, B.; Schaller, M.; röpcke,
J.; Schulz, S.E.:
Using the Quantum Cascade Laser Absorption Spectroscopy
for ultra low-k etch process optimization
Proc. 4th PESM cD-rOM (2011)
19. lang, n.; zimmermann, S.; Uhlig, B.; Schaller, M.; Schulz,
S.; röpcke, J.:
In situ monitoring of plasma etch processes of ultra
low-k dielectrics using optical diagnostic methods
Proc. 11th European AEc-APc conf. cD-rOM (2011)
20. lang, n.; zimmermann, S.; Uhlig, B.; Schaller, M.; Schulz,
S.; röpcke, J.:
In situ analysis of ultra low-k etch processing using
quantum cascade laser absorption spectroscopy
Proc. 30th IcPIg cD-rOM (2011)
21. röpcke, J.; Davies, P.B.; glitsch, S.; hempel, F.; hübner,
M.; lang, n.; lopatik, D.; rousseau, A.; Welzel, S.:
Applications of MIR-Laser Absorption Techniques for
Plasma Diagnostics in Basic Research and Industry
Proc. 4th Ic-PlAntS (2011) I-04
22. röpcke, J.; Davies, P.B.; glitsch, S.; hempel, F.; hübner,
M.; lang, n.; rousseau, A.; Welzel, S.:
On Progress using Mid-Infrared Absorption Techniques
for Plasma Diagnostics – from Basic Research to Industrial
Applications
Proc. 18th SAPP conf. cD-rOM (2011)
23. Uhlig, B.; lang, n.; zimmermann, S.; Schaller, M.:
Correlation between in situ and ex situ analysis of ultra
low-k dielectric etch processes
Proc. 11th European AEc-APc conf. cD-rOM (2011)
PUBlIKAtIOnEn
24. Uhrlandt, D.:
Physikalische Lichtbogenforschung- Einführung und
Überblick
Proc. große Schweißtechnische tagung DvS 275 (2011)
516-520
25. Uhrlandt, D.; Weltmann, K.-D.; Schein, J.; Füssel,U.;
Kruscha, J.; reisgen, U.; Wilden, J.:
Analysemethoden und erweitertes Verständnis für den
MSG-Prozess
Proc. große Schweißtechnische tagung DvS 275 (2011)
593-596
26. Weltmann, K.-D.; Kozakov, r.; gött, g.; rouffet, M.;
Wendt, M., Schöpp, H.; Uhrlandt, D.:
Physikalische Eigenschaften des MSG-Lichtbogens
Proc. große Schweißtechnische tagung DvS 275 (2011)
521-526
27. Wilhelm, g.; Sperl, A.; Kozakov, r.; gött, g.; Schöpp,
H.; Uhrlandt, D.:
Spectroscopic diagnostic of arc and weldpool in gas
metal short arc welding processes
Proc. 19th Symp. on Physics of Switching Arc FSO (2011)
351-354
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