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Rastertunnelmikroskopie an epitaktischen Eisenschichten auf MgO ...

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4 Experimentelle Grundlagen 4.5 Die XPS Apparatur<br />

Wasserkühlung<br />

Filamente<br />

Aluminium- und Kupfer<strong>an</strong>ode<br />

Röntgenlicht<br />

Abbildung 4.5: Aufbau der SPECS XR 50 Röntgenquelle. Aus den Filamenten treten Elektronen<br />

aus, die mit einer Hochsp<strong>an</strong>nung <strong>auf</strong> die jeweilige Anode beschleunigt werden. Die kinetische<br />

Energie der Elektronen bewirkt eine Anregung der Rumpfelektronen der Anodenatome. Durch Relaxationsprozesse<br />

der Anodenatome wird Energie frei, die in Form von Röntgenqu<strong>an</strong>ten abgegeben<br />

wird.<br />

male der Oberfläche abgestrahlt werden. Der Aufbau ist in Abbildung (4.6) schematisch<br />

dargestellt. Die Messung besteht darin, dass der Geschwindigkeitsfilter in<br />

der Halbkugel <strong>auf</strong> eine bestimmte Energie eingestellt wird und die Anzahl der Elektronen,<br />

welche am Detektor eintreffen gezählt werden. Dies wird für eine endliche<br />

Anzahl von Energien durchgeführt um ein Energie-Spektrum der Elektronen zu<br />

erzeugen.<br />

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