Estudo dos mecanismos de degradação em revestimentos PVD ...

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Lista de abreviaturas ______________________________________________________________________________________ Lista de abreviaturas AES Espectroscopia de electões Auger (Auger Electron Spectroscopy) - o mesmo que SAM AFM Microscopia de Força Atómica (Atomic Force Microscopy) ASTM American Society for Testing Materials DC Corrente Contínua (Direct Current) CVD Deposição Química em Fase de Vapor (Chemical Vapour Deposition) EDX Espectroscopia de raios-X por dispersão de energia (Energy-Dispersive X-ray Spectroscopy) EPMA Sonda de Microanálise de Electrões (Electron Probe Microanalysis) ESCA Espectroscopia Electrónica para Análise Química (Electron Spectroscopy for Chemical Analysis) - o mesmo que XPS JCPDS Joint Comitee on Powder Diffraction Standards OCP Potencial em circuito aberto (Open Circuit Potential) PVD Deposição Física em Fase de Vapor (Physical Vapour Deposition) PVC Policloreto de Vinilo (Polyvinyl Chloride) RBS Espectrometria de Retrodispersão de Rutherford (Rutherford Backscattering Spectroscopy) RF Radio-frequência (Radiofrequency) SAM Microscopia Auger de Varrimento (Scanning Auger Microscopy) - o mesmo que AES SAW Ondas Acústicas de Superfície (Surface Accoustic Waves) SEM Micrososcopia Electrónica de Varrimento (Scanning Electron Microscopy) TEM Microscopia Electrónica de Transmissão (Transmission Electron Microscopy) XPS Espectroscopia de Fotoelectrões de Raios-X (X-ray Photoelectron Spectroscopy) - o mesmo que ESCA XRD Difracção de Raios-X (X-ray Diffraction) vi
Índice ______________________________________________________________________________________ Índice Introdução 1 I.1 - Deposição física em fase de vapor (PVD) 5 I.2 - Nitretos metálicos 6 I.3 - Objectivos e abordagem do trabalho apresentado na tese 7 Bibliografia 9 Capítulo 1 - Breve descrição das técnicas de deposição, caracterização e análise 10 1.1 - Técnica de deposição 10 1.2 - Técnicas de caracterização e análise 12 1.2.1 - RBS 12 1.2.2 - EDX 12 1.2.3 - XPS 13 1.2.4 - SEM 13 1.2.5 - AES 14 1.2.6 - AFM 14 1.2.7 - XRD 15 1.2.8 - Microscopia Óptica 16 1.2.9 - Teste da calote 16 1.2.10 - Perfilometria 18 1.3 - Testes de corrosão 18 1.3.1 – Ensaios de corrosão electroquímica 18 1.3.2 - Testes "corrodkote" 20 1.3.3 – Ensaios de corrosão a temperatura elevada 21 1.4 - Técnicas de estudo de propriedades mecânicas e tribológicas 22 1.4.1 – Método da deflexão do substrato para o cálculo de tensões residuais 22 1.4.2 - Ondas acústicas de superfície induzidas por laser 25 1.4.3 - Nanoindentação 27 1.4.4 - Teste de desgaste 30 1.4.5 - Teste de adesão 31 1.5 - Testes em condições de processamento de polímeros 32 Bibliografia 34 Capítulo 2 - Revestimentos baseados em nitretos de metais de transição 37 2.1 - Técnicas de deposição 39 2.2 – Corrosão 41 2.3 – Aplicações 43 2.4 - Outros revestimentos de nitreto produzidos por técnicas PVD 44 Conclusões 45 Bibliografia 46 Capítulo 3 - Produção dos revestimentos 50 3.1 – Deposição 50 3.1.1 - Revestimentos monolíticos de nitreto de crómio 50 3.1.2 - Revestimentos multicamada 52 3.2 – Composição 54 Conclusões 56 Bibliografia 57 Capítulo 4 - Caracterização estrutural dos revestimentos 58 4.1 – Densidade 58 4.1.1 - Revestimentos de nitreto de crómio 58 4.1.2 - Revestimentos multicamada 60 4.2 – Morfologia 60 4.2.1 - Revestimentos de nitreto de crómio 60 4.2.2 - Revestimentos multicamada 65 4.3 – Microestrutura 67 4.3.1 – Fases 67 4.3.1.1 - Revestimentos de nitreto de crómio 69 4.3.1.2 - Revestimentos multicamada 71 4.3.2 - Orientações cristalinas 74 4.3.2.1 - Revestimentos de nitreto de crómio 75 4.3.2.2 - Revestimentos multicamada 79 vii
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