Estudo dos mecanismos de degradação em revestimentos PVD ...

Breve descrição das técnicas de deposição, caracterização e análise dos revestimentos
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colhidos por detectores cuja saída é usada para modular o brilho de um tubo de raios
catódicos. Existe sincronismo entre o varrimento do feixe primário com o varrimento do tubo
de raios catódicos. Cada ponto da superfície onde o feixe incide é visualizado imediatamente
no ponto correspondente do monitor. Os electrões secundários fornecem indicações sobre a
topografia. O contraste na imagem obtida a partir dos electrões retrodifundidos são
consequência das diferenças de composição. Como um microscópio electrónico de varrimento
é normalmente usado em conjunção com uma sonda de microanálise de electrões (EPMA), os
fotões de raios-X emitidos são usados para determinar a composição da amostra (ver EDX,
EPMA).
1.2.5 - Espectroscopia de Electrões Auger (AES, SAM) [1,2,4,8]
É uma técnica de análise da composição da superfície. A profundidade de análise é da
ordem dos 1 a 5 nm. Uma vantagem desta técnica é a de permitir uma grande resolução
espacial (área de análise da ordem dos 10 -6 mm 2 ). Electrões incidentes na amostra (1 a
20 keV) criam lacunas nos níveis electrónicos internos dos átomos da superfície da amostra,
que são preenchidas por electrões de níveis mais energéticos. A energia libertada nesta
transição pode dar-se pela emissão de raios-X característicos ou pela ejecção de um segundo
electrão (electrão Auger – 20 a 2000 eV). A energia destes electrões é característica para cada
elemento, o que permite uma identificação dos elementos que compõem a superfície.
1.2.6 - Microscopia de Força Atómica (AFM) [3,9 ,10]
Esta técnica permite obter imagens tridimensionais com ampliações da ordem de grandeza de
10 9 vezes da superfície das amostras. Uma ponta está montada numa alavanca muito sensível
e é usada para fazer o varrimento de zonas da superfície das amostras obtendo-se imagens da
topografia da superfície (ver figura 1.1) com uma resolução quase atómica.
Essa ponta fica muito próxima da superfície, sem que se chegue a estabelecer contacto. As
imagens obtidas por esta técnica aparecem em consequência das interacções entre os átomos
da ponta e os átomos da superfície. Essas interacções são repulsivas e fazem mover a
alavanca. Esse movimento é detectado por um feixe laser que é reflectido na alavanca e incide
num fotodetector de quatro sectores. A diferença de intensidade da luz nesses sectores é
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