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2.3.3 分辨能力当在某一时刻偏角发生变化的时候 , 仍然要考虑 Y 的变化是否满足像素分辨率的要求。 h tan β y =− cosωt 同理可有 cosωt cos dβ =− h 2 β dy 仍旧取 h=2mm,dy=10um, 做出 β 与 dβ 的关系曲线 ( 时间单位为 :s), 如图 2.9 所示。图 2.9 线阵方案不同角度下的最小分辨角如果考虑一般的稳定状态的时候 , β = 0 ,y 值也就稳定在 0; 一旦产生偏转 , β ≠ 0 , 相应的 Y 值不再为零 , 如果在稳定状态的时候 , 考虑 Y 值变化一个最小可分辨值 , 计算相应的 β 变化即可校验是否满足精度要求。 cos( ωt + ϕ) tan Δ β =− Δ y h 取 Δ y = 1um ( 选取 1/10 像素精度 ), 如图 2.10。 19
图 2.10 线阵方案取 1/10 像素精度时最小分辨角由图 2.10 还可以看出 , 当优化算法 , 取得 1/10 像素精度的时候 , 分辨率是远远满足技术参数要求的。 2.3.4 折射影响同样考虑到有玻璃的影响 , 在 K 值选取上 , 首先列出一切可能的 K 值 , 如图 1.11 所示 : 图 2.11 角度与 K 值曲线 20
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附录 E 基体零件图 103
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