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图 3.6 变 化 参 数 与 偏 角 关 系 示 意 图 ( 局 部 放 大 )<br />
变 化 0.1° 的 偏 角 , 需 要 的 最 小 的 Δ x 的 变 化 都 远 大 于 0.8um, 说 明 分 辨 率 远<br />
远 满 足 要 求 。<br />
进 一 步 计 算 分 辨 率 ( 考 虑 β 很 小 情 况 , 当 y1 变 化 一 个 最 小 分 辨 量 时 候 β 的 变<br />
化 ):<br />
对 公 式 (4-8) 求 导 , 并 取 cosβ=1, dy 1<br />
= 0.008mm<br />
, 于 是 有 :<br />
dβ =<br />
dy<br />
1<br />
( Δy− y ) + h<br />
1<br />
2 2<br />
做 出 曲 线 如 图 3.7 所 示 。<br />
图 3.7 分 辨 率 曲 线<br />
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