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30<br />
NANOPORÖSES ALUMINIUMOXID<br />
Das Einhalten der optimalen Ätzzeiten ist für die Verwendung von Aluminiumoxid<br />
als Durchflussmembran zwingend notwendig, da die Poren nicht vollständig<br />
geöffnet werden, wenn die Einwirkzeit der Chromsäure zu kurz ist. Bei zu langer<br />
Reaktionszeit hingegen gelangt die Chromsäure nach Auflösung der<br />
Barriereschicht in die Porenschicht und greift die Porenwände an. Die Poren<br />
werden dadurch geweitet, und die Membranstruktur kann schon nach kurzer Zeit<br />
zerstört werden. Die ermittelten Einwirkzeiten für die Chromsäurebehandlung sind<br />
in Tabelle 1 zusammengefasst.<br />
Tabelle 1: Chromsäurebehandlung zur Entfernung der Barriereschicht.<br />
Anodisierspannung Optimale Ätzdauer<br />
8 V 35 min<br />
15 V 35 min<br />
20 V 50 min<br />
40 V 300 min<br />
Es ergaben sich unterschiedliche Ätzzeiten, da die Dicke der Barriereschicht von<br />
der angelegten Anodisierspannung sowie vom eingesetzten Elektrolyten abhängt<br />
(s. auch Kap. B1.1, S. 19). Die optimalen Ätzzeiten lagen im Bereich weniger<br />
Minuten bis zu mehreren Stunden. Der große Sprung in den Zeiten zwischen der<br />
20 V- und der 40 V-Membran lässt sich auf die unterschiedlichen Elektrolyte<br />
zurückführen. Während 20 V-Membranen in Schwefelsäure hergestellt wurden,<br />
wurden 40 V-Membranen in Oxalsäure anodisiert. Durch die Anodisierung in<br />
Oxalsäure entsteht eine wesentlich dickere Barriereschicht [75].<br />
1.3 Verwendete Membranen<br />
Die nach dem oben beschriebenen Herstellungsprozess erhaltenen Membranen<br />
wurden mittels AFM und REM charakterisiert. Die Schichtdicke der Membranen<br />
wurde ebenfalls mittels REM-Messungen bestimmt, sie betrug für alle verwendeten<br />
Membranen 50 - 60 µm. Abb. 15 bis Abb. 17 zeigen in REM-Aufnahmen die<br />
geöffneten Rückseiten der Aluminiumoxid-Membranen.