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30<br />

NANOPORÖSES ALUMINIUMOXID<br />

Das Einhalten der optimalen Ätzzeiten ist für die Verwendung von Aluminiumoxid<br />

als Durchflussmembran zwingend notwendig, da die Poren nicht vollständig<br />

geöffnet werden, wenn die Einwirkzeit der Chromsäure zu kurz ist. Bei zu langer<br />

Reaktionszeit hingegen gelangt die Chromsäure nach Auflösung der<br />

Barriereschicht in die Porenschicht und greift die Porenwände an. Die Poren<br />

werden dadurch geweitet, und die Membranstruktur kann schon nach kurzer Zeit<br />

zerstört werden. Die ermittelten Einwirkzeiten für die Chromsäurebehandlung sind<br />

in Tabelle 1 zusammengefasst.<br />

Tabelle 1: Chromsäurebehandlung zur Entfernung der Barriereschicht.<br />

Anodisierspannung Optimale Ätzdauer<br />

8 V 35 min<br />

15 V 35 min<br />

20 V 50 min<br />

40 V 300 min<br />

Es ergaben sich unterschiedliche Ätzzeiten, da die Dicke der Barriereschicht von<br />

der angelegten Anodisierspannung sowie vom eingesetzten Elektrolyten abhängt<br />

(s. auch Kap. B1.1, S. 19). Die optimalen Ätzzeiten lagen im Bereich weniger<br />

Minuten bis zu mehreren Stunden. Der große Sprung in den Zeiten zwischen der<br />

20 V- und der 40 V-Membran lässt sich auf die unterschiedlichen Elektrolyte<br />

zurückführen. Während 20 V-Membranen in Schwefelsäure hergestellt wurden,<br />

wurden 40 V-Membranen in Oxalsäure anodisiert. Durch die Anodisierung in<br />

Oxalsäure entsteht eine wesentlich dickere Barriereschicht [75].<br />

1.3 Verwendete Membranen<br />

Die nach dem oben beschriebenen Herstellungsprozess erhaltenen Membranen<br />

wurden mittels AFM und REM charakterisiert. Die Schichtdicke der Membranen<br />

wurde ebenfalls mittels REM-Messungen bestimmt, sie betrug für alle verwendeten<br />

Membranen 50 - 60 µm. Abb. 15 bis Abb. 17 zeigen in REM-Aufnahmen die<br />

geöffneten Rückseiten der Aluminiumoxid-Membranen.

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