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WISSENSCHAFTS JOURNAL

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ATOME SEHEN – MIKROSKOPE FÜR KLEINSTE STRUKTUREN<br />

Hartmut S. Leipner und Peter Werner<br />

Richard P. Feynmans (Nobelpreisträger für Physik 1965) berühmte Rede »Plenty of<br />

Room at the Bottom« aus dem Jahr 1959 am California Institute of Technology gilt gemeinhin<br />

als Geburtsurkunde der Nanotechnologie. In diesem Vortrag hat er die Vision, dass<br />

der Text der 24bändigen Encyclopaedia Britannica mit der entsprechenden Technologie<br />

klein genug geschrieben werden könne und auf einem Stecknadelkopf Platz finden müsse.<br />

Diese Vision ist unmittelbar mit seiner Forderung nach entsprechenden Werkzeugen verbunden:<br />

Baut bessere Mikroskope, damit man sehen kann, was auf dem Stecknadelkopf<br />

ist, letztendlich mit einer solchen Auflösung, um Atome zu erkennen. Während Elektronenmikroskope<br />

lange Zeit keine besseren abbildenden Eigenschaften hatten als der Boden<br />

einer Bierflasche, sind heute Geräte mit exzellenten Parametern verfügbar, die den direkten<br />

Zugang zum atomaren Aufbau vieler Materialien erlauben.<br />

Die Möglichkeit eines um Größenordnungen<br />

besseren Auflösungsvermögens von<br />

Elektronenmikroskopen im Vergleich zu<br />

Lichtmikroskopen beruht auf dem Welle-<br />

Teilchen-Dualismus. Elektronen als Welle<br />

aufgefasst besitzen eine sehr viel kleinere<br />

Wellenlänge als Licht, die entsprechend<br />

dem Rayleighkriterium den kleinsten noch<br />

auflösbaren Objektabstand bestimmt. Allerdings<br />

wird dieser theoretische Wert bei<br />

weitem nicht erreicht. Das Problem ist die<br />

Abbildungsoptik mit den Abbildungsfehlern<br />

von magnetischen Linsen, die für Elektronen<br />

benutzt werden. Weiterhin sind die<br />

entstehenden Bilder nur aus der Überlagerung<br />

(Interferenz) der Elektronenwellen in<br />

der Probe zu verstehen und verlangen i. A.<br />

eine aufwändige mathematische Simulation.<br />

Die neueste Generation von Elektronenmikroskopen<br />

setzt nicht nur auf eine computergesteuerte<br />

Korrektur von Abbildungsfehlern,<br />

sondern kombiniert die Abbildung<br />

mit der spektroskopischen Analyse in<br />

nanoskopischen Bereichen. Man gewinnt<br />

damit aus der Transmissionselektronenmikroskopie<br />

(TEM) nicht nur Informationen<br />

über die kristallographische Anordnung<br />

(Abb. 1), sondern auch über die chemische<br />

Natur der untersuchten Strukturen.<br />

Die verschiedenen elektronenmikroskopischen<br />

Abbildungsmethoden sind nicht nur<br />

kompliziert in der Technik, sondern verlan-<br />

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scientia halensis 2/2004<br />

Interdisziplinäres Zentrum für Materialwissenschaften<br />

...............................................................................<br />

gen auch ausgefeilte Präparationsverfahren<br />

für das Probenmaterial. Auf der Basis eines<br />

Kooperationsvertrags zwischen dem Max-<br />

Planck-Institut für Mikrostrukturphysik<br />

und der Martin-Luther-Universität wurde<br />

deshalb 1999 ein Zentrum für Materialcharakterisierung<br />

(CMC) gegründet, um die<br />

Abb. 1 Hochauflösendes TEM-Bild eines einzelnen<br />

Cadmiumselenid-Teilchens, an dem<br />

die Position der atomaren Bausteine erkennbar<br />

wird. Die Pfeile kennzeichnen Planardefekte<br />

(Aufnahme H. Hofmeister, MPI für<br />

Mikrostrukturphysik).<br />

Abb. 2 Hochauflösende Transmissionselektronenmikroskopie eines Hochtemperatur-Supraleiters (Institut für Physikalische Hochtechnologie<br />

Jena), aufgenommen mit einem JEOL JEM4000 (rechts). In den linken Teilbildern sind der HTSL-Film und das Substrat bei unterschiedlicher<br />

Vergrößerung wiedergegeben. Die mittleren Bilder zeigen die Elementeverteilung in dem Grenzgebiet HTSL-Film/Substrat. Der gelbe Kreis am<br />

Elektronenmikroskop rechts weist speziell auf das EDX-Spektrometer hin.<br />

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