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Elektrische AntriebstechnikMagnetisch schwebenNeues elektromagnetisches PositioniersystemTreffen Marktgespür, Kompetenz und Teamfähigkeit aufeinander, wird letztendlich der Anwenderprofitieren. Die Karlsruher Firma Physik Instrumente (PI) beweist das gerade – mit einem neuenPositioniersystem, das auf dem Prinzip des magnetischen Schwebens basiert.Auch in den nächsten Jahren werden Branchen wie dieHalbleiterindustrie, Life-Sciences oder die Biotechnologieauf Wachstumskurs bleiben. Steigende Anforderungenin diesen Bereichen haben dabei häufigAuswirkungen auf unterstützende Technologien. Ein typischesBeispiel dafür liefert die Antriebstechnik. Bei Inspektions- undFertigungssystemen der Halbleiterindustrie beispielsweise sindheute meist Luftlagertechnik und magnetische Linearmotorenim Einsatz. Die Anforderungen an die Präzision werden zukünftigweiter steigen bis in den Nanometerbereich. Zudem stoßensolche Systeme an ihre Grenzen, wenn Anwendungen das Arbeitenunter Vakuum oder Stickstoffatmosphäre erfordern. Antriebsspezialistenhaben sich nun dieser Thematik angenommenund mit einem neuen elektromagnetischen Positioniersystembereits vielversprechende Ergebnisse erzielt.Die Karlsruher Firma Physik Instrumente, Spezialist für hochpräzisePositioniersysteme, hat in Kooperation mit dem Institut fürMikroelektronik- und Mechatronik-Systeme (IMMS) und demFachbereich Mechatronik der Universität Ilmenau ein neues Positioniersystementwickelt, das auf dem Prinzip des magnetischenSchwebens (Magnetic Levitation) basiert. Der Läufer schwebt aufeinem magnetischen Feld, das durch sechs Spulen erzeugt und ak-Neues Positioniersystem, das auf dem magnetischenSchweben (Magnetic Levitation) basiert.Der passive Läufer schwebt auf einem magnetischenFeld und wird durch dieses aktiv geführt.Objekte lassen sich auf diese Weise mit bisherunerreichter Führungsgenauigkeit in der Ebenelinear beziehungsweise rotativ bewegen.26 antriebspraxis 02/2013