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Auflösung und Arbeitsbereich - Carl Zeiss

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Software-Komponenten<br />

Profillänge <strong>und</strong> Bildfeld neu definieren<br />

In Kombination mit der Option StitchArt <strong>und</strong> einem<br />

motorischen XY-Scanningtisch nimmt das LSM 5<br />

PASCAL zusammengesetzte Höhenprofile <strong>und</strong> Bildstapel-Arrays<br />

auf. So können Sie lange Messstrecken<br />

<strong>und</strong> großflächige Ausschnitte Ihrer Probe abbilden<br />

<strong>und</strong> vermessen. Der mikroskopische Horizont wird<br />

um ein Vielfaches erweitert. Die von industriellen<br />

Standards vorgeschriebenen Mindestabtastlängen<br />

für Rauheits- <strong>und</strong> Welligkeitsanalyse werden erfüllt.<br />

Schnell <strong>und</strong> berührungslos:<br />

Multiple Profile Scan mit StitchArt<br />

Profillängen, die Sie bisher nur mit einem 5x vergrößernden<br />

Objektiv erfassen konnten, lassen sich<br />

nun dank StitchArt mit der hohen Z-<strong>Auflösung</strong><br />

eines 20x vergrößernden Objektives vermessen.<br />

Damit dies nicht auf Kosten der XY-<strong>Auflösung</strong><br />

geht, können mit StitchArt bis zu 16.384 Datenpunkte<br />

aufgenommen werden. Gesteigerte axiale<br />

<strong>Auflösung</strong> = größere Anzahl möglicher optischer<br />

Schnitte. Je nach Applikation lassen sich auch bis<br />

zu 2.048 Schnitte von Ihrer Probe erzeugen.<br />

Formelektrode, mikrodrahterosiv geschnitten<br />

(Material: gesintertes Wolfram-Kupfer).<br />

Probe: Prof. Uhlmann, Technische Universität<br />

Berlin, Institut für Werkzeugmaschinen <strong>und</strong><br />

Fabrikbetrieb, Deutschland.<br />

1 3D-Oberflächentopografie.<br />

EC Epiplan-Neofluar 20x/0.5,<br />

Einzelstapel: 435.9 µm x 435.9 µm x 1045.5 µm,<br />

490x490 Bildpunkte x 200 Schnitte.<br />

2 Multiple Stack Scan aus 9x9 Einzelstapeln.<br />

EC Epiplan-Neofluar 20x/0.5,<br />

3369.5 µm x 3369.5 µm x 1280.0 µm,<br />

1894x1894 Bildpunkte x 130 Schnitte.<br />

1<br />

Mikroskopisches Großformat:<br />

Multiple Stack Scan mit StitchArt<br />

Scanfeldgröße: XXL. Messgenauigkeit: NANO.<br />

Das Format der Bildstapel-Arrays passt sich in<br />

Form <strong>und</strong> Größe den Konturen Ihrer Proben an.<br />

Variable Scangeschwindigkeiten, flexible Z-Schrittweiten<br />

<strong>und</strong> Z-Messbereiche bis zu 4 mm lassen<br />

kaum Wünsche offen. Mit dem LSM 5 PASCAL<br />

steht Ihnen damit ein flexibles optisches 3D-<br />

Profilometer zur Verfügung. Zweidimensional<br />

oder dreidimensional, Mikro oder Makro – erweitern<br />

Sie Ihren mikroskopischen Horizont mit der<br />

Option StitchArt. Und das Beste: Ihre Proben<br />

bleiben „unangetastet“!<br />

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