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Auflösung und Arbeitsbereich - Carl Zeiss

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Meilensteine der<br />

Laser Scanning Mikroskopie<br />

1982<br />

Das erste Laser Scanning Mikroskop von <strong>Carl</strong> <strong>Zeiss</strong> zur Prüfung<br />

von integrierten Schaltungen. Der Prototyp der Baureihe LSM 44<br />

steht heute im Deutschen Museum in München.<br />

1988<br />

Beim LSM 21 IR erstmaliger Einsatz<br />

eines Infrarot-Lasers.<br />

Das LSM 30 – ein konfokales System<br />

für die Materialforschung.<br />

1991<br />

Die LSM 320/330 vereinigen die konfokale<br />

Laser Scanning Mikroskopie<br />

mit PC-Technologie.<br />

1992<br />

Das LSM 410 bezieht auch inverse<br />

Mikroskope in das LSM-Konzept ein.<br />

1997<br />

Das erste LSM 510 für die<br />

Materialforschung.<br />

1998<br />

Das LSM 510 NLO, ausgestattet für<br />

die Multiphotonen-Mikroskopie.<br />

2000<br />

Das LSM 5 PASCAL – das persönliche<br />

Laser Scanning Mikroskop für Materialforschung<br />

<strong>und</strong> Qualitätskontrolle.

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