Turbovac and mag - Ideal Vacuum Products
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Contents<br />
General<br />
General . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C09.03<br />
Applications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C09.10<br />
Accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C09.11<br />
<strong>Products</strong><br />
Turbomolecular Pumps with Mechanical Rotor Suspension<br />
without Compound-Stufe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C09.12<br />
with integrated Frequency Converter <strong>and</strong> Power Supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C09.36<br />
with Compound Stage<br />
with Frequency Converter for Attaching or Separate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C09.40<br />
with integrated Frequency Converter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C09.52<br />
without integrated Frequency Converter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C09.56<br />
with integrated Frequency Converter <strong>and</strong> Power Supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C09.64<br />
Special Turbomolecular Pumps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C09.72<br />
Turbomolecular Pumps with Magnetic Rotor Suspension<br />
with integrated Frequency Converter<br />
with Compound Stage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C09.74<br />
with separate Frequency Converter<br />
without Compound-Stufe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C09.82<br />
with Compound Stage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C09.86<br />
Accessories<br />
Electronic Frequency Converters<br />
for Turbomolecular Pumps with Mechanical Rotor Suspension . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C09.114<br />
for Turbomolecular Pumps with MagneticRotor Suspension . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C09.124<br />
(Miscellaneous) Accessories<br />
Vibration Absorber . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C09.130<br />
Air Cooling Unit<br />
für TURBOVAC ClassicLine-Pumpen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C09.130<br />
für TURBOVAC SL-Pumpen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C09.131<br />
Flange Heater for CF High <strong>Vacuum</strong> Flanges . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C09.131<br />
Fine Filter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C09.132<br />
Securing Collar for Octal Socket Plugs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C09.132<br />
Solenoid Venting Valve . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C09.132<br />
Power Failure Venting Valve . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C09.132<br />
Power Failure Venting Valve, electro<strong>mag</strong>netically actuated . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C09.133<br />
Purge Gas <strong>and</strong> Venting Valve . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C09.133<br />
for ClassicLine <strong>and</strong> SL Pumps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C09.134<br />
Adapter Set for Seal Gas <strong>and</strong> Venting Valve for the SL pumps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C09.134<br />
Gas Filter to G 1/4" for Purge Gas <strong>and</strong> Venting Valve for the SL pumps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C09.134<br />
Accessories for Serial Interfaces RS 232 C <strong>and</strong> RS 485 C . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C09.135<br />
Miscellaneous<br />
Service . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C09.136<br />
C09 02<br />
Oerlikon Leybold <strong>Vacuum</strong> Full Line Catalog