Trends in Lithography - JePPIX

More documents

Recommendations

Info

Outline • ASML • KennisWerkersRegeling • PAS 5500 /1150C Public
Public • hoewel slechts 1 FTE heeft de KWR tot een intensieve samenwerking geleid tussen ASML en TU/e • 17 maanden, ~ 160 k€ totale project kosten • machine aanpassingen, in het bijzonder de chuck • NWO groot heeft de middelen beschikbaar gesteld om de machine aan te schaffen • KWR heeft ASML geïnspireerd om de komende 5 jaar te helpen met het onderhoud van de machine, vertegenwoordigd een waarde van 1.2 M €
Page 1 and 2: Lithography Rob Hartman Symposium o
Page 3 and 4: Outline • ASML • KennisWerkersR
Page 5 and 6: ASML Headquarters in Veldhoven Publ
Page 7 and 8: The economic benefit of ASML enable
Page 9: ASML Q3 2011 results Q3 2011 Net sa
Page 13 and 14: PAS 5500 /1150C 200mm ArF Scanner
Page 15 and 16: Evolution of PAS 5500/1150C PAS 550
Page 17 and 18: Improved Aberration Control PAS 550
Page 19 and 20: PAS 5500 Product Group serves Niche
Page 21 and 22: PAS 5500 Systems and Services Refur

Trends in Lithography - JePPIX

You also want an ePaper? Increase the reach of your titles

Delete template?

Save as template?