2 - 國立聯合大學

CMP 的 必 要 性• 微 影 技 術 的 解 析 度 R = K 1 λ/NA• 為 改 善 解 析 度 , 數 字 孔 徑 (NA) ↑ or 波 長 (λ) ↓• 景 深 (DOF) = K 2 λ/2(NA) 2 , 兩 種 改 善 解 析 度 的 方 法 都 會降 低 光 學 系 統 的 景 深• 當 解 析 度 0.25 μm 時 , 景 深 約 2,083 Å, 解 析 度 0.18μm 時 , 景 深 約 1,500 Å• 此 處 我 們 假 設 K 1 =K 2 , λ=248 nm (DUV), 且 NA=0.6• 圖 形 尺 寸 0.25 μm 需 要 粗 糙 度 < 2000 Å• 所 需 的 平 坦 化 只 能 藉 著 使 用 CMP 製 程 而 達 到• 圖 形 尺 寸 > 0.35 μm, 其 他 的 平 坦 化 方 法 可 以 用來 滿 足 微 影 技 術 的 景 深 需 求