Diplomarbeit Christian Hauswald

Kapitel 3. Aufbau der Vakuumapparaturelektrische DurchführungenSichtfensterCCD-KameraIonengetterpumpeAbfrage-LaserPMTSwagelokelektrische Durchführung CO - Laser2SwageloksAbbildung 3.7: Überblick über die wichtigsten Komponenten der oberen Kammer. Alle nichtgekennzeichneten Öffnungen der Kammer sind durch Blindflansche verschlossen, können jedoch inZukunft für verschiedene Anwendungen genutzt werden.3.3.5 Auspumpen der VakuumapparaturUnteres VakuumsystemNach dem Verbinden aller Komponenten des unteren Vakuumsystems, wurde die Kammermit der Turbopumpe evakuiert. Nach 24 Stunden konnte ein Druck von 1,4×10 −7 mbar erreichtwerden. Das untere Vakuumsystem wurde daraufhin über mehrere Tage bei 150 ◦ C-180 ◦ C ausgeheizt (siehe Abschnitt 3.3.6), woraufhin durch Zuschalten der Ionengetterpumpeein Druck von 1,5×10 −9 mbar erreicht wurde. Beim Schließen des Ventils, also demAbkoppeln der Turbopumpe vom System, erhöhte sich der Druck leicht auf 3×10 −9 mbar.Da dieser Druck bereits unterhalb des Messbereiches der Pirani-Druckröhre liegt, wurdezur Messung des Drucks die Ionengetterpumpe verwendet.Insgesamt entsprach dieses Ergebnis bereits den Erwartungen, da die untere Kammerfür einen Druck im Bereich von 10 −9 mbar konzipiert wurde. Für die Erzeugung einermagneto-optischen Falle ist dieser Hintergrunddruck ausreichend niedrig.Gesamtes VakuumsystemBeim ersten Auspumpversuch der gesamten Apparatur mit beiden Turbopumpen, alsooberer und untere Kammer zusammen, konnte nach Beseitigung einiger Lecks in Swagelok-Verbindungen und Sichtfenstern (siehe Abschnitt 3.3.7) am Pirani/Kaltkathoden-Transmitterein Druck von 2,5 ×10 −8 mbar erreicht werden, welcher durch Zuschalten der beidenIonengetterpumpen auf 8,9 ×10 −9 mbar abfiel. Daraufhin wurde die Kammer über mehrereWochen geheizt, wodurch sich der Druck gemessen mit den Ionengetterpumpen auf42