MEMS: Mikro Elektro Mechanische Systeme
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� Kraft wird elektrostatisch erzeugt: 'Comb-Drive':<br />
VLSI Design 03/04 - <strong>MEMS</strong><br />
Bewegliches Teil<br />
Bewegung<br />
� Mit diesem Prinzip sind nur kleine Auslenkungen möglich<br />
U = 0: keine Kraft<br />
U < 0: Kraft nach links<br />
U > 0: Kraft nach rechts<br />
� Die elektrostatische Kraft kann benutzt werden, um bei der Messung von Auslenkungen gegenzuregeln,<br />
so daß die Kapazität konstant bleibt. Dadurch ist ein größerer Meßbereich möglich.<br />
P. Fischer, TI, Uni Mannheim, Seite 10
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