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MEMS: Mikro Elektro Mechanische Systeme

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� Erste Gehversuche: Siehe Videos

VLSI Design 03/04 - MEMS

'Walking Robot'

P. Fischer, TI, Uni Mannheim, Seite 16

� Erste Gehversuche: Siehe Videos VLSI Design 03/04 - MEMS 'Walking Robot' P. Fischer, TI, Uni Mannheim, Seite 16

VLSI Design 03/04 - MEMS Details der Beine P. Fischer, TI, Uni Mannheim, Seite 17