MEMS: Mikro Elektro Mechanische Systeme
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VLSI Design 03/04 - <strong>MEMS</strong><br />
Opferschichten<br />
� Werden benötigt, um freitragende Strukturen und Membranen herzustellen<br />
Opferschicht aufbringen<br />
Opferschicht strukturieren (spätere Befestigungspunkte)<br />
obere Lage aufbringen<br />
obere Lage strukturieren<br />
Entfernen der Opferschicht<br />
Eine geschlossene Struktur<br />
(Membran) benötigt Löcher in<br />
der oberen Lage zum Ätzen<br />
der Opferschicht. Die Löcher<br />
können später z.B. mit CVD<br />
verschlossen werden<br />
P. Fischer, TI, Uni Mannheim, Seite 6
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