MEMS: Mikro Elektro Mechanische Systeme
MEMS: Mikro Elektro Mechanische Systeme
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� Die Integration von<br />
- mechanischen Elementen<br />
- Sensoren<br />
- Aktuatoren<br />
- <strong>Elektro</strong>nik<br />
auf einem gemeinsamen Siliziumsubstrat<br />
VLSI Design 03/04 - <strong>MEMS</strong><br />
Was sind <strong>MEMS</strong> ?<br />
� Simultane Herstellung vieler <strong>MEMS</strong> auf Wafern (wie bei Chips) mit ähnlichen Technologien<br />
� Meist werden zu einem 'normalen' Chip-Prozess weitere 'Micromachining' Schritte hinzugefügt.<br />
� Diese Prozessschritte dürfen die fertigen Schaltungen (CMOS, Bipolar oder BiCMOS) nicht zerstören!<br />
� Hauptschritte sind<br />
- Ablagerung von ('dicken') Materialschichten<br />
- selektives, meist anisotropes Ätzen<br />
� Man unterscheidet<br />
- 'bulk micromachining' (tiefe Löcher, Waferbonden,.. – hier nicht weiter behandelt)<br />
- 'surface micromachining' (flache Strukturen auf der Oberfläche)<br />
P. Fischer, TI, Uni Mannheim, Seite 2
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