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MEMS: Mikro Elektro Mechanische Systeme

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VLSI Design 03/04 - MEMS

Probleme

� Die Technologie ist nicht ganz so einfach, da sich die Strukturen durch Spannungen durchbiegen können

P. Fischer, TI, Uni Mannheim, Seite 8

MEMS – Herstellung, Bauformen, Realisierungen

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VLSI Design 03/04 - MEMS Probleme � Die Technologie ist nicht ganz so einfach, da sich die Strukturen durch Spannungen durchbiegen können P. Fischer, TI, Uni Mannheim, Seite 8

1. Widerstand mit Piezoeigenschaften ('Dehnungsmeßstreifen') 2. Kapazität VLSI Design 03/04 - MEMS Messung der Ablenkung Beispiel: Drucksensor Poly-Si Meßstreifen Membran aus Nitride P. Fischer, TI, Uni Mannheim, Seite 9

Seite 1 und 2: VLSI Design 03/04 - MEMS MEMS: Mikr
Seite 3 und 4: � Sehr einfach (Wafer wird in Fl
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Seite 11 und 12: Messung und Gegenregelung x (Combdr
Seite 13 und 14: VLSI Design 03/04 - MEMS Mikrospieg
Seite 15 und 16: VLSI Design 03/04 - MEMS Beispiel:
Seite 17 und 18: VLSI Design 03/04 - MEMS Details de
Seite 19: VLSI Design 03/04 - MEMS Wer kann M

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