MEMS: Mikro Elektro Mechanische Systeme
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VLSI Design 03/04 - <strong>MEMS</strong><br />
Größere Wege<br />
� Ein bewegliches Element wird stückweise weiterbewegt.<br />
� Eine Kupplung verbindet das Element jeweils mit einem Vorschubelement:<br />
Rückstellfeder<br />
Vorschub<br />
Kupplung<br />
BIDIRECTIONAL INCHWORM MOTORS AND TWO- DOF ROBOT LEG OPERATION<br />
Presented by Dr. Seth Hollar with Sarah Bergbreiter, Professor Kris Pister<br />
University of California, Berkeley - BSAC<br />
P. Fischer, TI, Uni Mannheim, Seite 14
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