MEMS: Mikro Elektro Mechanische Systeme

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� Verschiedene Möglichkeiten, z.B.

VLSI Design 03/04 - MEMS

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P. Fischer, TI, Uni Mannheim, Seite 12

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� Verschiedene Möglichkeiten, z.B. VLSI Design 03/04 - MEMS Verkippungen P. Fischer, TI, Uni Mannheim, Seite 12

VLSI Design 03/04 - MEMS Mikrospiegel mit 2 Freiheitsgraden http://buffy.eecs.berkeley.edu/ResearchSummary/03abstracts/chapter4.html P. Fischer, TI, Uni Mannheim, Seite 13

Seite 1 und 2: VLSI Design 03/04 - MEMS MEMS: Mikr
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