Bachelorstudiengang Elektrotechnik und Informationstechnik (B.Sc ...
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<strong>Bachelorstudiengang</strong> <strong>Elektrotechnik</strong> <strong>und</strong> <strong>Informationstechnik</strong> 51<br />
Teilnahme<br />
Studien- <strong>und</strong> Prüfungsleistungen<br />
(inkl. Prüfungsvorleistungen),<br />
Prüfungsformen<br />
Literatur zum Modul<br />
Vers. März. 2013<br />
Prüfungsvorleistung: Votieren von 70% der Aufgaben in den<br />
Übungen<br />
Mündliche Prüfung: 30 Min.<br />
• Marc J. Madou, F<strong>und</strong>amentals of Microfabrication: The<br />
<strong>Sc</strong>ience of Miniaturization, CRC Press<br />
• C. Y. Chang, S. M. Sze, UISI Technology, McGraw-Hill<br />
Education (ISE Editors)