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Bachelorstudiengang Elektrotechnik und Informationstechnik (B.Sc ...

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Bachelorstudiengang Elektrotechnik und Informationstechnik 50 Grundlagen der Technologie Studiengang / Profile Verantwortlich für das Modul Vers. März. 2013 Bachelorstudiengang Elektrotechnik und Informationstechnik Prof. Dr.-Ing. Michael Vellekoop Lehrende im Modul Prof. Dr.-Ing. Michael Vellekoop Pflicht/ Wahlpflicht Pflicht Arbeitsaufwand (workload)/ Berechnung der Kreditpunkte Lehr- und Lernformen Konzeption 4 Kreditpunkte, 120 h • Präsenzzeit: 42 h (3 SWS x 14 Wochen) • Vor- und Nachbereitung:14 h (1 h/Woche x 14 Wochen) • Bearbeitung von Übungsblättern: 24 h (2 h/Wo. x 12 Wochen) • Prüfungsvorbereitung, Prüfung: 40 h • 2 SWS Vorlesung • 1 SWS Übung Die Übungen werden in Kleingruppen von Tutoren gehalten. Die Aufgaben werden durch die Studierenden vorgerechnet. Die Auswahl erfolgt nach einem Votationsverfahren. 70% der Aufgaben müssen votiert werden. Lehrveranstaltungen Grundlagen der Technologie Dauer des Moduls Lage 1 Semester, das Modul ist im 5. Semester zu belegen Inhalte Lernziele, Qualifikationsziele Häufigkeit des Angebots Sprache T0 Einführung T1 / T2 Reinraum-Technik / Wafer-Herstellung T2 Wafer-Herstellung T3 Fotolithographie T4 / T5 Si-Epitaxie / Oxidation T6 CVD T7-1 / T7-2 PVD / TF-Charakterisierung T8 Dotierung und Diffusion T9-1 / T9-2 Ätztechniken nass / - trocken T10 Bonden T11-1 / T11-2 Mikrostrukturierung-Mikromechanik T11-3 Mikrostrukturierung-Mikromechanik T12 Aufbau- und Verbindungstechnik Die Studierenden erwerben Grundkenntnisse über die modernen Halbleiter- und Mikrosystemherstellungsverfahren. jährlich Deutsch, englisch Voraussetzung für die Keine formalen Voraussetzungen

Bachelorstudiengang Elektrotechnik und Informationstechnik 51 Teilnahme Studien- und Prüfungsleistungen (inkl. Prüfungsvorleistungen), Prüfungsformen Literatur zum Modul Vers. März. 2013 Prüfungsvorleistung: Votieren von 70% der Aufgaben in den Übungen Mündliche Prüfung: 30 Min. • Marc J. Madou, Fundamentals of Microfabrication: The Science of Miniaturization, CRC Press • C. Y. Chang, S. M. Sze, UISI Technology, McGraw-Hill Education (ISE Editors)

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