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Seite 120_________________________________________________6 Mo<strong>de</strong>llierung und Simulation<br />

Abb. 6-12: Einfluss <strong>de</strong>s Aspektverhältnisses <strong>de</strong>s Defekts in <strong>de</strong>r Metallisierung auf die Durchlässigkeit.<br />

Im oberen Graphen ist <strong>de</strong>r gesamte simulierte Bereich dargestellt. Darunter<br />

ist <strong>de</strong>r interessante Bereich kleiner Aspektverhältnisse vergrößert dargestellt.<br />

Die Defektbreite beträgt konstant 1 µm, L = 100 µm und d = 12 µm<br />

Betrachtet man dagegen die Näherung <strong>de</strong>s Risses in Form eines quadratischen Defekts<br />

äquivalenter Größe (gepunktete und mit gefüllten Kreisen markierte Kurve), so erkennt<br />

man, dass für große Aspektverhältnisse die echte Durchlässigkeit <strong>de</strong>s Risses<br />

unterschätzt wird. Auch diese Abweichung kann mit Hilfe <strong>de</strong>s Umfangs <strong>de</strong>s Defekts<br />

erklärt wer<strong>de</strong>n. Im Vergleich zum echten Riss tritt beim Äquivalent<strong>de</strong>fekt gleicher<br />

Fläche ein <strong>de</strong>utlich geringerer Umfang auf. Daher ist auch in diesem Fall eine<br />

Flussausbrei<strong>tu</strong>ng innerhalb <strong>de</strong>s Defekts behin<strong>de</strong>rt und im Vergleich zum Riss mit seinem<br />

größeren Umfang kommt es hier zu kleineren Durchlässigkeitswerten.<br />

Zur Darstellung <strong>de</strong>s 10%-Übereinstimmungsbereichs sind entsprechen<strong>de</strong> Fehlerbalken<br />

eingefügt. Für Aspektverhältnisse bis etwas über 3:1 lässt sich daran eine gute<br />

Übereinstimmung <strong>de</strong>r Permeationswerte von Äquivalent<strong>de</strong>fekt und echtem Riss<br />

ablesen.

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