Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...
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Seite 120_________________________________________________6 Mo<strong>de</strong>llierung und Simulation<br />
Abb. 6-12: Einfluss <strong>de</strong>s Aspektverhältnisses <strong>de</strong>s Defekts in <strong>de</strong>r Metallisierung auf die Durchlässigkeit.<br />
Im oberen Graphen ist <strong>de</strong>r gesamte simulierte Bereich dargestellt. Darunter<br />
ist <strong>de</strong>r interessante Bereich kleiner Aspektverhältnisse vergrößert dargestellt.<br />
Die Defektbreite beträgt konstant 1 µm, L = 100 µm und d = 12 µm<br />
Betrachtet man dagegen die Näherung <strong>de</strong>s Risses in Form eines quadratischen Defekts<br />
äquivalenter Größe (gepunktete und mit gefüllten Kreisen markierte Kurve), so erkennt<br />
man, dass für große Aspektverhältnisse die echte Durchlässigkeit <strong>de</strong>s Risses<br />
unterschätzt wird. Auch diese Abweichung kann mit Hilfe <strong>de</strong>s Umfangs <strong>de</strong>s Defekts<br />
erklärt wer<strong>de</strong>n. Im Vergleich zum echten Riss tritt beim Äquivalent<strong>de</strong>fekt gleicher<br />
Fläche ein <strong>de</strong>utlich geringerer Umfang auf. Daher ist auch in diesem Fall eine<br />
Flussausbrei<strong>tu</strong>ng innerhalb <strong>de</strong>s Defekts behin<strong>de</strong>rt und im Vergleich zum Riss mit seinem<br />
größeren Umfang kommt es hier zu kleineren Durchlässigkeitswerten.<br />
Zur Darstellung <strong>de</strong>s 10%-Übereinstimmungsbereichs sind entsprechen<strong>de</strong> Fehlerbalken<br />
eingefügt. Für Aspektverhältnisse bis etwas über 3:1 lässt sich daran eine gute<br />
Übereinstimmung <strong>de</strong>r Permeationswerte von Äquivalent<strong>de</strong>fekt und echtem Riss<br />
ablesen.