Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...
Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...
Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...
Sie wollen auch ein ePaper? Erhöhen Sie die Reichweite Ihrer Titel.
YUMPU macht aus Druck-PDFs automatisch weboptimierte ePaper, die Google liebt.
A.7 kritische Daten <strong>de</strong>r benutzten Gase und Dämpfe<br />
174____________________________________________________________________Anhang Seite<br />
Tab. A.7-1:<br />
Auswahl charakteristischer Daten <strong>de</strong>r verwen<strong>de</strong>ten Gase und Dämpfe nach<br />
[161]<br />
Substanz<br />
Atomgewicht<br />
/ amu<br />
krit.<br />
Tempera<strong>tu</strong>r Tc<br />
/ K<br />
krit. Druck pc<br />
/ bar<br />
krit.<br />
Volumen Vc<br />
/ cm3/mol<br />
Helium He 4,003 5,19 2,27 57,30<br />
Stickstoff N228,014 126,20 33,98 90,10<br />
Sauerstoff<br />
154,58 50,43 73,37<br />
A.8 Einige weitere gemessene Defektgrößenhäufigkeitsverteilungen<br />
O2CO2 31,999<br />
Kohlendioxid<br />
44,010 73,74 304,12 94,07<br />
Wasser H2O 18,015 647,14 220,64 55,95<br />
Abb. A.8-1: Defektgrößenverteilung eines Musters <strong>de</strong>r Bedampfung S1 (OD 2,1);<br />
berechnete O2-Durchlässigkeit 118,6 cm3(STP)/(m2*Tag*bar)
Change language