Thesis - Tumb1.biblio.tu-muenchen.de - Technische Universität ...

A.5 EDX Spektren verschiedener Stellen bedampfter BoPP-Folie
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Abb. A.5-1:
EDX Spektrum im Bereich der Aluminiumschicht, in der keine Defekte
auftreten; Der Au-Peak ist auf das Besputtern mit Gold zurückzuführen, der C-
Peak tritt aufgrund der großen Eindringtiefe des Elektonenstrahl und der damit
verbundenen Detektion des unter der Al-Schicht liegenden BoPP auf
Abb. A.5-2:
EDX Spektrum im oxidierten transparenten Bereich der Aluminiumschicht
(vgl. REM-Aufnahme Abb. A.4-9: rechts); zusätzlich zu den bereits zuvor
beschriebenen Peaks ist hier noch ein O-Peak vom Aluminiumoxid zu
erkennen.