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Katalog Messtische und Kreuztische - PI

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M-451.1PD Präzisionshubtisch Abmessungen in mm,<br />

D-Sub Stecker 15-pin, 3 m Kabel<br />

Kompatibel mit Nanopositionierung/Scantische<br />

Der M-451 kann mit verschiedenen<br />

Nanopositioniertischen von<br />

<strong>PI</strong>, wie z. B. den Serien<br />

P-561 <strong>PI</strong>Mars <strong>und</strong> P-527 kombiniert<br />

werden. Diese piezogetriebenen<br />

Systeme zeichnen<br />

sich durch Subnanometer-<br />

Auflösung <strong>und</strong> hohe Scanfrequenzen<br />

aus <strong>und</strong> sind mit bis<br />

zu sechs Freiheitsgraden verfügbar.<br />

P-562.3CD <strong>PI</strong>Mars XYZ-Nanopositionier-<br />

<strong>und</strong> Scansystem mit Piezoantrieb<br />

(200 µm x 200 µm x 200 µm)<br />

auf dem M-451.1PD<br />

Präzisionshubtisch<br />

Technische Daten<br />

Piezo • Nano • Positioning<br />

M-451.1DG Präzisionshubtisch Abmessungen in mm,<br />

D-Sub Stecker 15-pin, 3 m Kabel<br />

Modell M-451.1PD M-451.1DG M-451.12S Einheit<br />

Aktive Achsen Z Z Z<br />

Bewegung <strong>und</strong> Positionieren<br />

Stellweg 12,5 12,5 12,5 mm<br />

Integrierter Sensor Rotationsencoder Rotationsencoder –<br />

Sensorauflösung 4000 2000 – Imp./U<br />

Rechnerische Auflösung 0,042 0,0028 0,026 µm<br />

Kleinste Schrittweite 0,2 0,1 0,2 µm<br />

Umkehrspiel 1 1 1 µm<br />

Unidirektionale Wiederholgenauigkeit 0,3 0,3 0,3 µm<br />

Neigen/Gieren ±75 ±75 ±75 µrad<br />

Geradheit 1 1 1 µm<br />

Ebenheit 1 1 1 µm<br />

Max. Geschwindigkeit 3 0,5 0,8 mm/s<br />

Referenzschalter Wiederholgenauigkeit 1<br />

Mechanische Eigenschaften<br />

1 1 µm<br />

Spindel Gewindespindel Gewindespindel Gewindespindel<br />

Spindelsteigung 0,5 0,5 0,5 mm<br />

Getriebeuntersetzung – 29,6:1 –<br />

Motorauflösung* – – 6.400* Schritte/U<br />

Max. Belastbarkeit (selbsthemmend)<br />

Antriebseigenschaften<br />

120 120 120 N<br />

Motortyp DC-Motor, ActiveDrive DC-Getriebemotor 2-Phasen-Schrittmotor*<br />

Betriebsspannung 24 0 bis ±12 24 V<br />

Motorleistung 25 4 4,8 W<br />

Referenz- <strong>und</strong> Endschalter<br />

Anschlüsse <strong>und</strong> Umgebung<br />

Hall-Effekt Hall-Effekt Hall-Effekt<br />

Betriebstemperaturbereich -20 bis +50 -20 bis +50 -20 bis +50 °C<br />

Material Aluminium eloxiert Aluminium eloxiert Aluminium eloxiert<br />

Masse 5 5 5 kg<br />

Empfohlene Controller/Treiber C-863 (einachsig) C-863 (einachsig) C-663 (einachsig)<br />

(S. 4-114) (S. 4-112)<br />

C-843 PCI-Karte C-843 PCI-Karte<br />

(bis 4 Achsen) (bis 4 Achsen)<br />

(S. 4-120)<br />

*2-Phasen-Schrittmotor, 24 V Chopper-Spannung, max 0,8 A/Phase; 400 Vollschritte/U, Motorauflösung mit Schrittmotorsteuerung C-663<br />

Komplett-<strong>Katalog</strong>:<br />

www.pi.de

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