Katalog Messtische und Kreuztische - PI

© Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG 2009. Änderungen vorbehalten. Dieses Datenblatt verliert seine Gültigkeit mit Erscheinen einer neuen Revision.
Die jeweils aktuelle Revision ist unter www.pi.ws zum Herunterladen verfügbar. Cat120D Inspirationen2009 09/02.10
Piezo • Nano • Positioning
M-683 PILine ® Präzisions-Messtisch
Flach und schnell mit Ultraschall-Piezomotor und direkter Positionsmessung
� Höchstgeschwindigkeit 350 mm/s
� Niedrige Bauhöhe: Nur 21 mm hoch
� Kompakte XY-Kombination möglich
� Antriebskraft bis 7 N
� Linearencoder für direkte Positionsauswertung
mit 0,1 µm Auflösung
� Stellwege 25 und 50 mm
� Hohe Führungsgenauigkeit durch Kreuzrollenlager
� PILine ® : Nichtmagnetisches und vakuumkompatibles
Funktionsprinzip
� Selbsthemmend im Ruhezustand
Die M-683 Präzisions-Mikrostelltische
verwenden PILine ®
Ultraschall-Piezolinearmotoren,
die eine kompakte Bauform
und niedrige Bauhöhe
ermöglichen. Integrierte Linearencoder
für den präzise geregelten
Betrieb bieten 0,1 µm
Positionsauflösung. Für die
verbesserte Führungsgenauigkeit
verwendet der M-683
zwei Kreuzrollenführungen, die
Anwendungsbeispiele
� Biotechnologie
� Mikromanipulation
� Qualitätssicherung
� Metrologie
� Halbleitertestausrüstung
� Massenspeicher-Test
� F&E
� Photonik-Fertigung
4-32
M-683.1U4
Mikrostelltisch
auf geschliffenen Aluminiumprofilen
montiert werden. Der
integrierte U-164 PILine ®
Linearmotor bietet Stellkräfte
bis zu 4 bzw. 7 N und maximale
geregelte Geschwindigkeiten
bis 400 mm/s auf 25 bzw.
50 mm Stellweg.
Grundsätzlich kann der M-683
auch mit anderen Antriebslängen
angeboten werden und
ist auf Anfrage als Vakuumversion
erhältlich.
PILine ® Antriebe ersetzen
klassische Motor/Spindel
Systeme
PILine ® OEM Piezomotoren ersetzen
in der Integration klassische
Antriebselemente wie
Motor/Spindel-Systeme oder
magnetische Linearantriebe.
Sie bestehen aus einem Läufer,
der durch PILine ® Piezomotoren
bewegt und zusätzlich
geführt wird. Abhängig von der
Integration dient dabei ent-
weder der Läufer oder der
Motorblock als Koppelstelle für
das zu bewegende Objekt.
Vorteile von PILine ®
Mikrostelltechniksystemen
Positioniersysteme, die mit
keramischen Ultraschallantrieben
der PILine ® Serie ausgestattet
sind, bieten einige Vorteile
gegenüber Verstellern mit
klassischen Antrieben:
� Kompaktere Abmessungen
� Selbsthemmung im Ruhezustand
/ keine Halteströme
� Kompakte Abmessungen
� Höhere Beschleunigungen
bis 5 g
� Höhere Geschwindigkeiten
bis 500 mm/s
� Keine Wellen, Zahnräder
oder andere Verschleißteile
� Keine Schmierstoffe
� Nichtmagnetisches und
vakuumtaugliches Funktionsprinzip
Optimierte Controller und
Treiberelektroniken
Die PILine ® Piezomotoren benötigen
eine Treiberelektronik,
die Ultraschalloszillationen erzeugt.
Zur Unterstützung der
Leistungsmerkmale geregelter
PILine ® Systeme wird der
hochspezialisierte C-867 Servocontroller
empfohlen, der die
Treiberelektronik bereits enthält.
Eine dynamische Para-
Bestellinformation
M-683.1U4
PILine ® Hochgeschwindigkeits-
Linearversteller, 25 mm, 4 N
M-683.2U4
PILine ® Hochgeschwindigkeits-
Linearversteller, 60 mm, 7 N
Sonderausführungen auf Anfrage!
meterumschaltung optimiert
das für Piezomotoren typische
Enschwing- und Bewegungsverhalten.
Der breitbandige
Encodereingang unterstützt
mit einer Grenzfrequenz von
50 MHz die hohen Beschleunigungen
und Geschwindigkeiten,
durch die sich PILine ®
Antriebe auszeichnen, auch bei
hohen Auflösungen.
Für externe Controller ermöglicht
die Treiberelektronik
C-185 (s. S. 1-36) die Kontrolle
der Motorgeschwindigkeit
über ein analoges ± 10 V
Signal. Treiberelektronik bzw.
Controller und Mechanik sollten
jedoch immer zusammen
bestellt werden, da sie für optimale
Performance vor der
Auslieferung aufeinander abgeglichen
werden.
Patentgeschützte Technologie
Die in diesem Dokument beschriebenen
Produkte fallen
zumindest teilweise unter den
Schutz der folgenden Patente:
US-Patent Nr. 6,765,335
Deutsches Patent Nr. 10154526
M-683.1U4 Abmessungen in mm (vorläufig)