Katalog Messtische und Kreuztische - PI
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Prinzipskizze eines M-511.HD. Der Piezoantrieb ist vom motorischen<br />
Antrieb über Festkörpergelenke entkoppelt<br />
Technische Daten<br />
Modell M-511.HD<br />
Aktive Achsen X<br />
Bewegung <strong>und</strong> Positionieren<br />
Stellweg 100 mm<br />
Integrierter Sensor Linearencoder<br />
Sensorauflösung 0,002 µm<br />
Rechnerische Auflösung 0,002 µm<br />
Kleinste Schrittweite 0,004 µm<br />
Hysterese auf Plattformebene 0,01 µm<br />
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit 0,01 µm<br />
Genauigkeit
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