Katalog Messtische und Kreuztische - PI

© Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG 2009. Änderungen vorbehalten. Dieses Datenblatt verliert seine Gültigkeit mit Erscheinen einer neuen Revision.
Die jeweils aktuelle Revision ist unter www.pi.ws zum Herunterladen verfügbar. Cat120D Inspirationen2009 09/02.10
Piezo • Nano • Positioning
M-664 PILine ® Präzisions-Messtisch
Flach und schnell mit Ultraschall-Piezomotor und direkter Positionsmessung
� Stellweg 25 mm
� Höchstgeschwindigkeit 400 mm/s
� Nur 15 mm hoch
� Linearencoder für direkte Positionsauswertung
mit 0,1 µm Auflösung
� Hohe Führungsgenauigkeit durch Kreuzrollenlager
� Kompakte XY-Kombinationen möglich
� Biszu4NAntriebskraft
� Selbsthemmend im Ruhezustand
M-664 Mikrostelltische zeichnen
sich durch eine äußerst
flache Bauform mit integrierten
Linearencodern für den präzise
geregelten Betrieb aus. Der
M-664 PILine ® Mikrostelltisch
ist nach dem kleineren M-663
(s. S. 4-28) der nächst größere
und stärkere Versteller mit
Ultraschallpiezomotoren.
Anwendungsbeispiele
� Biotechnologie
� Mikromanipulation
� Mikroskopie
� Qualitätssicherung
� Metrologie
� Massenspeicher-Test
� F&E
� Photonik-Fertigung
4-30
Schneller und kompakter M-664 Piezomotortisch mit Linearencoder
Für die verbesserte Führungsgenauigkeit
verwendet der
M-664 zwei Kreuzrollenführungen,
die auf geschliffenen
Aluminiumprofilen montiert
werden. Der integrierte P-664
PILine ® Linearmotor bietet
Stellkräfte bis zu 4 N und maximale
geregelte Geschwindigkeiten
bis 400 mm/s auf 25 mm
Stellweg.
Vorteile von PILine ®
Mikrostelltechniksystemen
Positioniersysteme, die mit
keramischen Ultraschallantrieben
der PILine ® Serie ausgestattet
sind, bieten einige Vorteile
gegenüber Verstellern mit
klassischen Antrieben:
� Höhere Beschleunigungen
bis 5 g
� Geschwindigkeiten
bis 500 mm/s
� Kompakte Abmessungen
� Selbsthemmung im
Ruhezustand/keine
Halteströme
� Keine Wellen, Zahnräder
und andere Teile
� Nichtmagnetisches und
vakuumtaugliches
Funktionsprinzip
Optimierte Controller und
Treiberelektroniken
Die PILine ® Piezomotoren benötigen
eine Treiberelektronik,
die Ultraschalloszillationen erzeugt.
Zur Unterstützung der
Leistungsmerkmale geregelter
PILine ® Systeme wird der hochspezialisierte
C-867 (s. S. 4-116)
Servocontroller empfohlen, der
die Treiberelektronik bereits
enthält. Eine dynamische Parameterumschaltung
optimiert
das für Piezomotoren typische
Einschwing- und Bewegungsverhalten.
Der breitbandige
Encodereingang unterstützt mit
einer Grenzfrequenz von
50 MHz die hohen Beschleunigungen
und Geschwindigkeiten,
durch die sich PILine ®
Antriebe auszeichnen, auch bei
hohen Auflösungen.
Bestellinformation
M-664.164
PILine ® Mikrolinearversteller mit
flacher Bauhöhe und
P-664 Piezolinearmotor,
25mm,4N
Sonderausführungen auf Anfrage!
Für externe Controller ermöglicht
die Treiberelektronik C-185
(s. S. 1-36) die Kontrolle der
Motorgeschwindigkeit über ein
analoges ±10 V Signal. Treiberelektronik
bzw. Controller
und Mechanik sollten jedoch
immer zusammen bestellt werden,
da sie für optimale Performance
vor der Auslieferung
aufeinander abgeglichen werden.
Hinweise
Die in diesem Dokument
beschriebenen Produkte fallen
zumindest teilweise unter den
Schutz der folgenden Patente:
US-Patent Nr. 6,765,335
Deutsches Patent Nr. 10154526
Abmessungen des M-664