Katalog Messtische und Kreuztische - PI
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10-nm-Schritte mit einem M-714, angesteuert mit einem<br />
C-702 Digitalcontroller, interferometrisch vermessen<br />
Technische Daten<br />
Modell<br />
Bewegung <strong>und</strong> Positionieren<br />
M-714.2HD<br />
Stellweg 7 mm<br />
Integrierter Sensor Linearencoder<br />
Sensorauflösung 0,002 µm<br />
Rechnerische Auflösung 0,002 µm<br />
Kleinste Schrittweite 0,004 µm<br />
Hysterese auf Plattformebene 0,01 µm<br />
Unidirektionale Wiederholgenauigkeit 0,01 µm<br />
Genauigkeit
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