Katalog Messtische und Kreuztische - PI
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© Physik Instrumente (<strong>PI</strong>) GmbH & Co. KG 2009. Änderungen vorbehalten. Dieses Datenblatt verliert seine Gültigkeit mit Erscheinen einer neuen Revision.<br />
Die jeweils aktuelle Revision ist unter www.pi.ws zum Herunterladen verfügbar. Cat120D Inspirationen2009 09/02.10<br />
Die Präzisionstische der M-014<br />
Serie zeichnen sich durch kompakte<br />
Abmessungen, hervorragende<br />
Führungsgenauigkeit<br />
sowie Spielfreiheit <strong>und</strong> extreme<br />
Leichtgängigkeit aus.<br />
Die im Tisch integrierte magnetische<br />
Vorspannung gewährleistet<br />
eine extrem ebene <strong>und</strong><br />
gleichförmige Bewegung. Der<br />
Aufbau mit zwei unterschiedlichen<br />
Linearlagern sorgt für<br />
eine außergewöhnlich hohe<br />
Führungsgenauigkeit <strong>und</strong> Ablaufebenheit<br />
im Bereich von<br />
0,1 bis 0,2 µm. Dabei übernimmt<br />
nur eines der Lager (V-<br />
Nut) die Längsführung, während<br />
das andere (U-Nut) lediglich<br />
tragende Funktion hat. Im<br />
Gegensatz zu Tischen mit konventionellen<br />
Kugel- oder Rollenlagern<br />
können bei dieser<br />
Konstruktion Winkelfehler zwischen<br />
den beiden Lagern keine<br />
Verspannungen verursachen.<br />
Anwendungsbeispiele<br />
� Mikroskopie<br />
� Qualitätskontrolle<br />
� Metrologie<br />
4-54<br />
Piezo • Nano • Positioning<br />
M-014 Messtisch mit Apertur<br />
Nanometergenau durch Piezoantrieb, hohe Führungsgenauigkeit<br />
M-014.00 Lineartisch<br />
� 25 mm Stellweg<br />
� Kompakter Seitenantrieb<br />
� Ablaufgenauigkeit ≤ 0,1µm/5mm<br />
� 0,1 µm Auflösung mit geregeltem DC-Motor<br />
� Hochauflösender Piezoantrieb mit 5 nm Auflösung<br />
� ø30mmApertur<br />
Die Magnetkopplung zwischen<br />
dem kompakten Seitenantrieb<br />
<strong>und</strong> dem Tisch verhindert<br />
ebenfalls den Einfluss von<br />
Parallelitätsfehlern <strong>und</strong> Drehmomenten.<br />
Sie lässt nur die<br />
Übertragung von Kräften in<br />
einem Freiheitsgrad – der Stellrichtung<br />
– zu.<br />
Modellvielfalt<br />
Der M-014 wird in sechs Versionen<br />
angeboten: Die Gr<strong>und</strong>ausführung<br />
M-014.00 ist mit<br />
einer Präzisions-Mikrometerschraube<br />
ausgerüstet <strong>und</strong> bietet<br />
eine Einstellempfindlichkeit<br />
von 1 µm. Beim M-014.D01 ermöglicht<br />
ein hochauflösender<br />
DC-Motor mit Positionsenkoder<br />
Schrittweiten von 0,1 µm<br />
(Enkoderauflösung: 3 nm).<br />
Zum Schutz der Mechanik sind<br />
Endschalter im Tisch integriert.<br />
Höchstauflösender<br />
Piezoantrieb<br />
Für beide Versionen sind zusätzliche<br />
Piezoantriebe (mit<br />
<strong>und</strong> ohne Positionssensor) verfügbar,<br />
die Schrittweiten von<br />
5 nm über einen Bereich von<br />
45 µm ermöglichen. Sie können<br />
auch für Scanning- <strong>und</strong><br />
Trackinganwendungen eingesetzt<br />
werden. Details zu Piezoantrieben:<br />
Siehe Kapitel „Piezoaktoren<br />
/ Piezokomponenten“.<br />
Alle M-014 Tische können als<br />
XY-Kombinationen direkt montiert<br />
<strong>und</strong> mit den Adapterwinkeln<br />
M-053.10 (manuelle Versionen)<br />
<strong>und</strong> M-053.20 (motorisierte<br />
Versionen) um eine<br />
Z-Achse erweitert werden. Bei<br />
der vertikalen Montage des<br />
M-014 darf die Last 0,5 kg nicht<br />
überschreiten. Bei höheren<br />
Lasten empfehlen wir die<br />
M-126 Baureihe (s. S. 4-38) mit<br />
dem Adapterwinkel M-125.90.<br />
Nachrüstsätze<br />
M-014 Tische können nachträglich<br />
mit einem Piezoantrieb<br />
oder DC-Motorantrieb aufgerüstet<br />
werden. Details dazu finden<br />
Sie in der Bestellinformation.<br />
Hinweise<br />
Adapterplatten, -winkel <strong>und</strong><br />
Zubehör siehe Seite 4-90 ff.<br />
Bestellinformation<br />
M-014.00<br />
Mikrostelltisch, 25 mm<br />
M-014.P0<br />
Mikrostelltisch, 25 mm, Mikrometer<br />
+ Piezoantrieb<br />
M-014.PS<br />
Mikrostelltisch, 25 mm, Mikrometer<br />
+ geregelter Piezoantrieb<br />
M-014.D01<br />
Mikrostelltisch, 25 mm,<br />
DC-Motorantrieb<br />
M-014.DP1<br />
Mikrostelltisch, 25 mm, DC-Motor<br />
+ Piezoantrieb<br />
M-014.DS1<br />
Mikrostelltisch, 25 mm, DC-Motor<br />
+ geregelter Piezoantrieb<br />
Nachrüstsätze<br />
M-014.U0<br />
Nachrüstsatz mit ungeregeltem<br />
Piezoantrieb<br />
M-014.US<br />
Nachrüstsatz mit geregeltem<br />
Piezoantrieb<br />
M-014.UD<br />
Nachrüstsatz mit DC-Motorantrieb<br />
<strong>und</strong> Endschalter (im Werk installiert)<br />
Sonderausführungen auf Anfrage!<br />
M-014.D01<br />
Lineartisch
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