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Katalog Messtische und Kreuztische - PI

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© Physik Instrumente (<strong>PI</strong>) GmbH & Co. KG 2009. Änderungen vorbehalten. Dieses Datenblatt verliert seine Gültigkeit mit Erscheinen einer neuen Revision.<br />

Die jeweils aktuelle Revision ist unter www.pi.ws zum Herunterladen verfügbar. Cat120D Inspirationen2009 09/02.10<br />

Die Mikrostelltische der Serien<br />

M-403 <strong>und</strong> M-404 bieten kostengünstige<br />

Lösungen für Standardaufgaben<br />

im Bereich der<br />

Mikropositionierung. Dabei bilden<br />

Kombinationen von hochwertigen<br />

kostenoptimierten Einzelkomponenten<br />

ein vielseitiges<br />

System von Linearverstellern.<br />

Der Aufbau aus einem entspannten,<br />

gefrästen Aluminiumblock<br />

ermöglicht optimale Stabilität<br />

bei minimalem Gewicht.<br />

Der präzise Antrieb der M-403<br />

Varianten über eine spielfrei<br />

vorgespannte Gewindespindel<br />

bietet eine kleinste erreichbare<br />

Schrittweite bis 0,2 µm. Für<br />

4-34<br />

Piezo • Nano • Positioning<br />

M-403 · M-404 Preiswerter Messtisch<br />

Preiswert <strong>und</strong> flexibel durch viele Antriebs- <strong>und</strong> Stellwegvarianten<br />

Die Längenvarianten der M-403 Versteller (v.l.n.r.) M-403.1PD, M-403.2PD,<br />

M-403.4PD, M-403.6PD <strong>und</strong> M-403.8PD mit 25 bis 200 mm Stellweg<br />

� Preisgünstiges, kostenoptimiertes Design für präzise<br />

Positionierung<br />

� Stellwege von 25 bis 200 mm<br />

� Auflösung bis 0,012 µm<br />

� Kleinste Schrittweite bis 0,1 µm<br />

� Vorgespannte Präzisionsgewindespindel oder Kugelumlaufspindel<br />

für hohe Geschwindigkeiten <strong>und</strong> Zyklenzahlen<br />

� Gr<strong>und</strong>profil aus entspanntem Aluminium für hohe Stabilität<br />

� Vakuumkompatible Versionen erhältlich<br />

� Höhere Lasten mit M-413 <strong>und</strong> M-414<br />

Anwendungsbeispiele<br />

� Automatisierung<br />

� F&E<br />

� Halbleiterfertigung<br />

� Metrologie<br />

� Qualitätssicherung<br />

hohe Geschwindigkeiten <strong>und</strong><br />

eine lange Betriebsdauer werden<br />

die M-404 Modelle sehr<br />

präzise über eine reibungsarme<br />

Kugelumlaufspindel angetrieben<br />

<strong>und</strong> bieten kleinste Schrittweiten<br />

bis zu 0,1 µm. Jeweils<br />

drei Motorversionen ermöglichen<br />

den flexiblen Einsatz in<br />

Automatisierungsaufgaben.<br />

Fünf Längen mit Stellwegen<br />

von 25 bis 200 mm sind erhältlich.<br />

Die Versteller sind<br />

belastbar bis zu 20 kg <strong>und</strong><br />

besitzen eine Vortriebskraft von<br />

50 N. Spezielle Versionen für<br />

Vakuumanwendungen sind verfügbar<br />

(s. Bestellinformation).<br />

Präzision bei hoher<br />

Belastbarkeit<br />

Die Führung erfolgt mit Präzisionslagern<br />

<strong>und</strong> wartungsfreien<br />

Kugelumlaufschuhen.<br />

Dies garantiert eine hohe Belastbarkeit<br />

<strong>und</strong> Führungsgenauigkeit<br />

sowie eine lange<br />

Lebensdauer. Zusätzlich ist bei<br />

der Serie M-404 das Führungs-<br />

Bestellinformation<br />

3 Linearversteller mit Gewindespindel,<br />

80 mm breit<br />

4 Präzisions-Linearversteller mit Kugelspindel,<br />

4 80 mm breit<br />

PD ActiveDrive<br />

M-40 .<br />

1 Stellweg 25 mm<br />

2 Stellweg 50 mm<br />

4<br />

6<br />

8<br />

Stellweg 100 mm<br />

Stellweg 150 mm<br />

Stellweg 200 mm<br />

TM DC-Motor<br />

(inkl. 24-V-Netzteil)<br />

DG DC-Getriebemotor<br />

2S 2-Phasen-Schrittmotor<br />

VP ActiveDriveTM DC-Motor<br />

(inkl. 24-V-Netzteil), vakuumkompatibel<br />

bis 10-6 VG<br />

hPa<br />

DC-Getriebemotor, vakuumkompatibel<br />

bis 10-6 hPa<br />

Sonderausführungen auf Anfrage!<br />

lager poliert, um höchste Ablaufebenheit<br />

zu gewährleisten.<br />

Kostengünstige<br />

Systemlösungen<br />

Zusammen mit den netzwerkfähigen<br />

Einkanalcontrollern<br />

C-863 (s. S. 4-114) Mercury<br />

<strong>und</strong> C-663 Mercury Step<br />

(s. S. 4-112) besitzen die Positioniertische<br />

gute Leistungsmerkmale<br />

zu einem wirtschaftlich<br />

äußerst attraktiven Systempreis<br />

für ein- oder mehrachsige Anwendungen.<br />

Drei Motorversionen<br />

Die Topmodelle M-40x.xPD sind<br />

mit dem leistungsstarken<br />

ActiveDrive Direktantrieb<br />

ausgestattet. Beim Active-<br />

Drive-System ist ein leistungsfähigerPWM-Servoverstärker<br />

im Motorgehäuse integriert.<br />

Dieses Antriebskonzept<br />

von <strong>PI</strong> bietet mehrere<br />

Vorteile:<br />

� Höherer Wirkungsgrad durch<br />

Ausschaltung von Leistungsverlusten<br />

zwischen Verstärker<br />

<strong>und</strong> Motor<br />

� Geringere Kosten, kompakterer<br />

Aufbau <strong>und</strong> höhere Zuverlässigkeit,<br />

da kein externer<br />

Verstärker nötig ist<br />

� Vermeidung von Störstrahlung,<br />

weil Verstärker <strong>und</strong><br />

Motor zusammen in einem<br />

geschirmten Gehäuse montiert<br />

sind<br />

Die Modelle M-40x.xDG sind<br />

mit einem DC-Getriebemotor<br />

<strong>und</strong> einem hochauflösenden<br />

optischen Rotationsencoder<br />

ausgerüstet. Diese ermöglichen<br />

eine kleinste Schrittweite bis<br />

zu 0,1 µm im geschlossenen<br />

Regelkreis.<br />

Das Modell M-40x.x2S verfügt<br />

über einen wirtschaftlichen<br />

2-Phasen-Schrittmotor, der extrem<br />

vibrationsarm läuft. Im<br />

Mikroschrittbetrieb erreicht er<br />

eine Auflösung bis zu 0,16 µm.<br />

Einfache Referenzierung <strong>und</strong><br />

sicherer Betrieb.<br />

Zum Schutz vor Schäden an der<br />

Mechanik sind präzise, berührungslose<br />

Hall-Effekt Endschalter<br />

in den Verstellern integriert.<br />

Ein richtungserkennender<br />

Referenzschalter erleichtert<br />

den Einsatz bei Automatisierungsaufgaben.<br />

Weitere Varianten<br />

Die Serien M-403 / M-413 <strong>und</strong><br />

M-404 / M-414 sind nach einem<br />

Baukastenprinzip aufgebaut:<br />

M-403 als Basismodelle mit<br />

25 bis 200 mm Stellweg <strong>und</strong><br />

stabile M-413 für höhere Lasten<br />

<strong>und</strong> 100 bis 300 mm Stellweg<br />

bieten günstige Systemlösungen.<br />

Die Versionen der beiden<br />

Serien M-404 <strong>und</strong> M-414 sind<br />

ausgelegt auf hohe Betriebszyklen<br />

<strong>und</strong> Geschwindigkeiten<br />

bei ansonsten gleichen Stellwegen<br />

<strong>und</strong> Lasten.

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