Katalog Messtische und Kreuztische - PI
Katalog Messtische und Kreuztische - PI
Katalog Messtische und Kreuztische - PI
Erfolgreiche ePaper selbst erstellen
Machen Sie aus Ihren PDF Publikationen ein blätterbares Flipbook mit unserer einzigartigen Google optimierten e-Paper Software.
© Physik Instrumente (<strong>PI</strong>) GmbH & Co. KG 2009. Änderungen vorbehalten. Dieses Datenblatt verliert seine Gültigkeit mit Erscheinen einer neuen Revision.<br />
Die jeweils aktuelle Revision ist unter www.pi.ws zum Herunterladen verfügbar. Cat120D Inspirationen2009 09/02.10<br />
Die Mikrostelltische der Serien<br />
M-403 <strong>und</strong> M-404 bieten kostengünstige<br />
Lösungen für Standardaufgaben<br />
im Bereich der<br />
Mikropositionierung. Dabei bilden<br />
Kombinationen von hochwertigen<br />
kostenoptimierten Einzelkomponenten<br />
ein vielseitiges<br />
System von Linearverstellern.<br />
Der Aufbau aus einem entspannten,<br />
gefrästen Aluminiumblock<br />
ermöglicht optimale Stabilität<br />
bei minimalem Gewicht.<br />
Der präzise Antrieb der M-403<br />
Varianten über eine spielfrei<br />
vorgespannte Gewindespindel<br />
bietet eine kleinste erreichbare<br />
Schrittweite bis 0,2 µm. Für<br />
4-34<br />
Piezo • Nano • Positioning<br />
M-403 · M-404 Preiswerter Messtisch<br />
Preiswert <strong>und</strong> flexibel durch viele Antriebs- <strong>und</strong> Stellwegvarianten<br />
Die Längenvarianten der M-403 Versteller (v.l.n.r.) M-403.1PD, M-403.2PD,<br />
M-403.4PD, M-403.6PD <strong>und</strong> M-403.8PD mit 25 bis 200 mm Stellweg<br />
� Preisgünstiges, kostenoptimiertes Design für präzise<br />
Positionierung<br />
� Stellwege von 25 bis 200 mm<br />
� Auflösung bis 0,012 µm<br />
� Kleinste Schrittweite bis 0,1 µm<br />
� Vorgespannte Präzisionsgewindespindel oder Kugelumlaufspindel<br />
für hohe Geschwindigkeiten <strong>und</strong> Zyklenzahlen<br />
� Gr<strong>und</strong>profil aus entspanntem Aluminium für hohe Stabilität<br />
� Vakuumkompatible Versionen erhältlich<br />
� Höhere Lasten mit M-413 <strong>und</strong> M-414<br />
Anwendungsbeispiele<br />
� Automatisierung<br />
� F&E<br />
� Halbleiterfertigung<br />
� Metrologie<br />
� Qualitätssicherung<br />
hohe Geschwindigkeiten <strong>und</strong><br />
eine lange Betriebsdauer werden<br />
die M-404 Modelle sehr<br />
präzise über eine reibungsarme<br />
Kugelumlaufspindel angetrieben<br />
<strong>und</strong> bieten kleinste Schrittweiten<br />
bis zu 0,1 µm. Jeweils<br />
drei Motorversionen ermöglichen<br />
den flexiblen Einsatz in<br />
Automatisierungsaufgaben.<br />
Fünf Längen mit Stellwegen<br />
von 25 bis 200 mm sind erhältlich.<br />
Die Versteller sind<br />
belastbar bis zu 20 kg <strong>und</strong><br />
besitzen eine Vortriebskraft von<br />
50 N. Spezielle Versionen für<br />
Vakuumanwendungen sind verfügbar<br />
(s. Bestellinformation).<br />
Präzision bei hoher<br />
Belastbarkeit<br />
Die Führung erfolgt mit Präzisionslagern<br />
<strong>und</strong> wartungsfreien<br />
Kugelumlaufschuhen.<br />
Dies garantiert eine hohe Belastbarkeit<br />
<strong>und</strong> Führungsgenauigkeit<br />
sowie eine lange<br />
Lebensdauer. Zusätzlich ist bei<br />
der Serie M-404 das Führungs-<br />
Bestellinformation<br />
3 Linearversteller mit Gewindespindel,<br />
80 mm breit<br />
4 Präzisions-Linearversteller mit Kugelspindel,<br />
4 80 mm breit<br />
PD ActiveDrive<br />
M-40 .<br />
1 Stellweg 25 mm<br />
2 Stellweg 50 mm<br />
4<br />
6<br />
8<br />
Stellweg 100 mm<br />
Stellweg 150 mm<br />
Stellweg 200 mm<br />
TM DC-Motor<br />
(inkl. 24-V-Netzteil)<br />
DG DC-Getriebemotor<br />
2S 2-Phasen-Schrittmotor<br />
VP ActiveDriveTM DC-Motor<br />
(inkl. 24-V-Netzteil), vakuumkompatibel<br />
bis 10-6 VG<br />
hPa<br />
DC-Getriebemotor, vakuumkompatibel<br />
bis 10-6 hPa<br />
Sonderausführungen auf Anfrage!<br />
lager poliert, um höchste Ablaufebenheit<br />
zu gewährleisten.<br />
Kostengünstige<br />
Systemlösungen<br />
Zusammen mit den netzwerkfähigen<br />
Einkanalcontrollern<br />
C-863 (s. S. 4-114) Mercury<br />
<strong>und</strong> C-663 Mercury Step<br />
(s. S. 4-112) besitzen die Positioniertische<br />
gute Leistungsmerkmale<br />
zu einem wirtschaftlich<br />
äußerst attraktiven Systempreis<br />
für ein- oder mehrachsige Anwendungen.<br />
Drei Motorversionen<br />
Die Topmodelle M-40x.xPD sind<br />
mit dem leistungsstarken<br />
ActiveDrive Direktantrieb<br />
ausgestattet. Beim Active-<br />
Drive-System ist ein leistungsfähigerPWM-Servoverstärker<br />
im Motorgehäuse integriert.<br />
Dieses Antriebskonzept<br />
von <strong>PI</strong> bietet mehrere<br />
Vorteile:<br />
� Höherer Wirkungsgrad durch<br />
Ausschaltung von Leistungsverlusten<br />
zwischen Verstärker<br />
<strong>und</strong> Motor<br />
� Geringere Kosten, kompakterer<br />
Aufbau <strong>und</strong> höhere Zuverlässigkeit,<br />
da kein externer<br />
Verstärker nötig ist<br />
� Vermeidung von Störstrahlung,<br />
weil Verstärker <strong>und</strong><br />
Motor zusammen in einem<br />
geschirmten Gehäuse montiert<br />
sind<br />
Die Modelle M-40x.xDG sind<br />
mit einem DC-Getriebemotor<br />
<strong>und</strong> einem hochauflösenden<br />
optischen Rotationsencoder<br />
ausgerüstet. Diese ermöglichen<br />
eine kleinste Schrittweite bis<br />
zu 0,1 µm im geschlossenen<br />
Regelkreis.<br />
Das Modell M-40x.x2S verfügt<br />
über einen wirtschaftlichen<br />
2-Phasen-Schrittmotor, der extrem<br />
vibrationsarm läuft. Im<br />
Mikroschrittbetrieb erreicht er<br />
eine Auflösung bis zu 0,16 µm.<br />
Einfache Referenzierung <strong>und</strong><br />
sicherer Betrieb.<br />
Zum Schutz vor Schäden an der<br />
Mechanik sind präzise, berührungslose<br />
Hall-Effekt Endschalter<br />
in den Verstellern integriert.<br />
Ein richtungserkennender<br />
Referenzschalter erleichtert<br />
den Einsatz bei Automatisierungsaufgaben.<br />
Weitere Varianten<br />
Die Serien M-403 / M-413 <strong>und</strong><br />
M-404 / M-414 sind nach einem<br />
Baukastenprinzip aufgebaut:<br />
M-403 als Basismodelle mit<br />
25 bis 200 mm Stellweg <strong>und</strong><br />
stabile M-413 für höhere Lasten<br />
<strong>und</strong> 100 bis 300 mm Stellweg<br />
bieten günstige Systemlösungen.<br />
Die Versionen der beiden<br />
Serien M-404 <strong>und</strong> M-414 sind<br />
ausgelegt auf hohe Betriebszyklen<br />
<strong>und</strong> Geschwindigkeiten<br />
bei ansonsten gleichen Stellwegen<br />
<strong>und</strong> Lasten.