Katalog Messtische und Kreuztische - PI

© Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG 2009. Änderungen vorbehalten. Dieses Datenblatt verliert seine Gültigkeit mit Erscheinen einer neuen Revision.
Die jeweils aktuelle Revision ist unter www.pi.ws zum Herunterladen verfügbar. Cat120D Inspirationen2009 09/02.10
Im M-511.HD ist eine Weiterentwicklung
der bewährten
Verstellerserie M-5x1. Der
innovative Hybrid-Antrieb von
PI vereint hier die Vorteile eines
nanometergenauen Piezoantriebs
mit Festkörpergelenksführung
wie schnelle
Einschwingzeit und nahezu unbegrenzte
Auflösung mit den
großen Stellwegen eines
Mikropositioniersystems aus
DC-Servomotor und Kugelum-
Piezo • Nano • Positioning
M-511.HD Nanogenauer Hybrid Messtisch
DC/Piezo Präzisions-Hybrid-Versteller für hohe Geschwindigkeit mit 2 nm Auflösung
� Parallele Regelung für Piezoantrieb und DC-Servomotor
� Stellweg bis 100 mm, Höchstgeschwindigkeit 125 mm/s
� Wiederholgenauigkeit im Nanometerbereich
� Direktmetrologie: Linearencoder mit 2 nm Auflösung
� Nanometergenaues Einschwingen auf die Position binnen
weniger Millisekunden
� Spielfreie Kugelumlaufspindel und reibungsfreier Piezoantrieb
� Aktive Kompensation des Umkehrspiels und von
Stick-/Slip-Effekten beim Anfahren
� Hohe Konstanz der Geschwindigkeit
Anwendungsbeispiele
� Oberflächeninspektion
� Mikroskopie
� Lasertechnologie
� Interferometrie
� Metrologie
4-46
M-511.HD Hybrid-Versteller
(CD zum Größenvergleich)
laufspindel. Mit dem M-511.HD
können hohe Lasten bis 50 kg
mit bis zu 125 mm/s bei einer
Encoderauflösung von 2 nm
bewegt werden.
Große Stellwege auf den
Nanometer genau
Hybridsysteme erfordern sowohl
eine ausgeklügelte Mechanik
als auch den Einsatz
hochauflösender Sensoren
über einen weiten Stellbereich,
die Übermittlung und Verarbeitung
der Positionsdaten in
hoher Auflösung sowie umfangreiche
Regelalgorithmen.
Beim Hybridantrieb ist die bewegte
Plattform vom motorisierten
Antriebsstrang über
den hochsteifen Piezoantrieb
und spiel- und reibungsfreie
Festkörpergelenke entkoppelt.
Im Positionierbetrieb erfolgt
das Einschwingen auf die Position
binnen weniger Millisekunden,
und kleinste Schritte
im Bereich der Auflösung des
Encoders werden zuverlässig
ausgeführt. Die Piezoaktoren
ermöglichen im dynamischen
Betrieb eine hohe Konstanz der
Geschwindigkeit durch Kompensation
von Regelabweichungen
des motorisierten Antriebs.
Stick-/Slip-Effekte beim
Anfahren oder Umkehrspiele
können so kompensiert werden.
Die gemeinsame Regelung auf
einen einzigen hochauflösenden
Sensor bedeutet, dass
beide Bewegungssysteme
nicht mehr getrennt zu betrachten
sind, sondern als ein
System mit Stellwegen über
hunderte Millimeter und mit
der Präzision eines piezobasiertenNanopositioniertischs.
Die Auflösung und damit
die Positioniergenauigkeit
hängen von der Wahl des verwendeten
Positionssensors ab.
Für die Hybridsysteme von PI
werden hochgenaue optische
Linearencoder mit einer Auflösung
von derzeit bis zu 2 nm
verwendet.
Bestellinformation
M-511.HD
Hochpräziser Hybrid-Versteller,
100 mm, 2 nm Auflösung
Sonderausführungen auf Anfrage!
Ein Bewegungssystem –
ein Controller
Mit dem C-702 (s. S. 4-118)
bietet PI einen speziellen Controller
an, der für den Betrieb
von hybriden Systemen angepasste
Regelalgorithmen und
Piezoendstufen besitzt. Der
erforderliche Regelalgorithmus
ist komplex, die Encoderschnittstelle
muss große Mengen
hochaufgelöster Positionsdaten
bei Geschwindigkeiten
bis 100 mm/s dem Controller in
Echtzeit übermitteln.
Vor allem Anwendungen, in
denen die Position eines
Ereignisses erfasst und später
wieder genau angefahren werden
muss, die eine besonders
gleichförmige Bewegung erfordern
oder bei denen eine
externe Positionsvorgabe exakt
zu erreichen ist (Metrologie,
Interferometrie, Oberflächeninspektion)
profitieren von den
Eigenschaften des Hybridantriebs.
M-511.HD, Abmessungen in mm. D-Sub Stecker 26-pin, 3 m Kabel