Katalog Messtische und Kreuztische - PI

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© Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG 2009. Änderungen vorbehalten. Dieses Datenblatt verliert seine Gültigkeit mit Erscheinen einer neuen Revision. Die jeweils aktuelle Revision ist unter www.pi.ws zum Herunterladen verfügbar. Cat120D Inspirationen2009 09/02.10 Die Lineartische M-105 und M-106 sind in X-, XY- und XYZ- Konfigurationen verfügbar und ermöglichen Stellwege von bis zu 18 mm. Sie werden mit Kreuzrollenlagern geführt, die eine Führungsgenauigkeit von besser als 2 µm ermöglichen. Zur Unterdrückung von Umkehrspiel ist der Schlitten mit Federn gegen die Präzisions- Mikrometerschraube vorgespannt. Bei der XYZ-Ausführung ist die Z-Achse mit einem Adapterwinkel so montiert, dass die Last in Richtung der Federvorspannung wirkt. Bei der M-105 Ausführung beträgt die Auflösung ca. 1 µm, die Version M-106 ist mit einer Differenzialmikrometerschraube ausgerüstet und erreicht 0,1 µm Auflösung. Piezofeinantrieb Die Ausführungen mit Piezo- Mike-Antrieb (s. S. 1-54) bieten zusätzlich einen piezoelektrischen Feinstellbereich von 30 µm zur berührungslosen Einstellung im Nanometerbereich und für Scanning- oder Trackinganwendungen. Eine weitere 4-50 Piezo • Nano • Positioning M-105 · M-106 Manueller Tisch XY(Z) Kombinationen, hohe Führungsgenauigkeit, optionaler Piezofeinantrieb � Stellweg bis zu 18 mm � Edelstahlkonstruktion � XY- und XYZ-Kombinationen � Auflösung bis zu 0,1 µm � Option: PiezoMike mit 10 nm Auflösung � Optionale Motorantriebe M-106.10 Lineartisch mit Differenzialmikrometerschraube Ausführung mit Piezo-Blockaktoren für Faserpositionieranwendungen wird unter der Produktnummer F-110 angeboten. Motorisierte Ausführungen Zwei Präzisionsmotorantriebe können nachgerüstet werden: Die DC-Mikes M-231.17 und M-232.17 (s. S. 1-48 ff) ermöglichen Schrittweiten von 0,1 µm. Technische Daten Bestellinformation M-105.10 Mikrostelltisch, 18 mm M-105.11 Mikrostelltisch, 18 mm, mit arretierbarer Mikrometerschraube M-105.20 XY-Mikrostelltisch, 18 mm M-105.30 XYZ-Mikrostelltisch, 18 mm (mit M- 009.10 Winkel für Seitenmontage) M-105.1P Mikrostelltisch, 18 mm, PiezoMike- Antrieb M-105.2P XY-Mikrostelltisch, 18 mm, PiezoMike-Antrieb M-105.3P XYZ-Mikrostelltisch, 18 mm, PiezoMike-Antrieb (mit M-009.10 Winkel für Seitenmontage) M-106.10 Mikrostelltisch, 5 mm, Differenzialmikrometerschraube M-106.20 XY-Mikrostelltisch, 5 mm, Differenzialmikrometerschraube M-106.30 XYZ-Mikrostelltisch, 5 mm, Differenzialmikrometerschraube (mit M-009.10 Winkel) M-105.1B Mikrostelltisch, ohne Antrieb M-105.2B XY-Mikrostelltisch, ohne Antrieb M-105.3BA XYZ-Mikrostelltisch, ohne Antrieb (mit M-105.VB1 Winkel) M-105.3BB XYZ-Mikrostelltisch, ohne Antrieb (mit M-009.10 Winkel) Zubehör M-232.17 DC-Mike, Linearaktor M-009.10 Adapterwinkel für die vertikale Montage (Seitenanbau) M-105.VB1 Adapterwinkel für die vertikale Montage (zentrischer Aufbau) M-009.20 Adapterwinkel für P-280 Piezos oder F-010 Faserhalter M-009.30 Adapterwinkel für die vertikale Montage von M-105 / M-106 Tischen auf PI-Gewindenormraster Modell M-105.10* M-105.1P* M-106.10* Einheit Stellbereich 18 18 5 mm Piezostellweg – 30 – µm Kleinste Schrittweite (Piezoantrieb) – 0,01 – µm Kleinste Schrittweite (Mikrometerschraube) ** 1 1 0,1 µm Umkehrspiel 2 2 2 µm Geradheit 2 2 2 µm Ebenheit 2 2 2 µm Max. Belastbarkeit 100 100 100 N Max. Druck- / Zugkraft 20 / 4 20 / 4 20 / 4 N Max. Querkraft 4 4 4 N Antrieb M-626.00 P-854.00 M-653.00 Spindelsteigung (grob / fein) 0,5 / – 0,5 / – 0,4 / 0,02 mm/U Masse 0,32 0,38 0,33 kg Gehäusematerial St St St Empfohlener Piezoverstärker – E-660 (S. 2-119), E-610 (S. 2-110) E-500 System (S. 2-142) – *Die Versionen M-105.2x, M-106.2x und M-105.3x bzw. M-106.x0 sind Kombinationen aus den Versionen .1x. **Motorisierte Ausführungen erreichen Schrittweiten bis 50 nm.
Hinweise Adapterplatten, -winkel und Zubehör siehe Seite 4-89 ff. M-105.1P. Abmessungen in mm M-105.10. Abmessungen in mm M-105.3P XYZ-Lineartisch mit PiezoMikes, M-009.10 Winkel für Seitenmontage, optionalem M-009.20 Adapterwinkel und F-010.00 Faserhalter Piezo • Nano • Positioning DC-Mike Linearaktor M-232.17 an einem M-105.1B Stelltisch Komplett-Katalog: www.pi.de
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