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Figure 17: Schematic Diagram of Planar Sputtering Target
圖 17: 平 面 靶 材
平 面 靶 材 可 特 別 製 成 高 性 能 塗 層 所 需 要 的 特 定 功 能 , 而 旋
轉 靶 材 操 作 的 時 間 較 長 及 延 長 生 產 時 間 , 減 少 生 產 線 停 機
時 間 和 材 料 的 浪 費 。 圖 17 和 18 分 別 展 示 平 面 和 可 旋 轉 的
靶 材 。
Figure 18: Schematic Diagram of Rotatable Sputtering
Target
圖 18: 可 旋 轉 靶 材
(Source 資 料 來 源 :Hong Kong Productivity Council 香 港 生 產
力 促 進 局 )
3.4.4 Industrial Applications of Sputtering Process
and Target Materials
There is a wide range of applications of sputtering of
REEs-based materials in the production of electronics,
lighting and display as well as automotive components.
Here is a list of applications in these industries using
sputtering process for production:
1. Electronics
• Semiconductor and microprocessor
manufacturing (Main REEs: Y, La)
• Interconnections (Main REEs: La, Ce)
• Thermoelectric and thermo-emissive
materials (Main REEs: La, Nd, Y)
• Resistors (Main REEs: Y)
• Permanent magnets (Main REEs: Ce, Pr, Nd,
Sm)
• Magnetostrictive materials (Main REEs: Gd, Tb,
Dy, Ho, Er)
• Magnetic bubble materials (Main REEs: Y, Sm,
Eu, Gd, Tb, Er, Tm, Yb, Lu)
• Magneto-optical materials (Main REEs: Y, Nd,
Gd, Tb, Dy)
2. Lighting and display
• Thin-film transistor-based liquid crystal display
(LCD) (Main REEs: Nd, Y, La)
• Sensors (Main REEs: Y, La)
• Optical glass (Main REEs: Y, La, Ce, Gd, Eu)
• Specialty electro-ceramics (Main REEs: Y, La,
Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd)
• Lasing elements (Main REEs: Y, Nd)
• Phosphors (Main REEs: Y, La, Ce, Nd, Eu, Tb)
3. Automotive components
• Catalytic converters (Main REEs: Y, La, Ce)
• Motor parts (Main REEs: Ce, Pr, Nd, Sm)
• Battery alloys (Main REEs: Y, Ce)
• Vehicle body alloys (Main REEs: La, Ce)
(Source 資 料 來 源 :Hong Kong Productivity Council 香 港 生 產
力 促 進 局 )
3.4.4 濺 射 工 藝 及 其 靶 材 的 工 業 應 用
稀 土 材 料 的 濺 射 工 藝 在 電 子 、 照 明 和 顯 示 器 以 及 汽 車 零 部
件 的 生 產 中 有 著 廣 泛 的 應 用 , 以 下 是 這 些 行 業 利 用 濺 射 工
藝 生 產 的 一 些 產 品 和 稀 土 材 料 :
1. 電 子
• 製 造 半 導 體 和 微 處 理 器 ( 主 要 稀 土 : 釔 、 鑭 )
• 互 連 ( 主 要 稀 土 : 鑭 、 鈰 )
• 熱 電 和 熱 發 光 材 料 ( 主 要 稀 土 : 鑭 、 釹 、 釔 )
• 電 阻 ( 主 要 稀 土 : 釔 )
• 永 久 磁 鐵 ( 主 要 稀 土 : 鈰 、 鐠 、 釹 、 釤 )
• 超 磁 致 伸 縮 材 料 ( 主 要 稀 土 : 釓 、 鋱 、 鏑 、 鈥 、
鉺 )
• 磁 泡 材 料 ( 主 要 稀 土 : 釔 、 釤 、 銪 、 釓 、 鋱 、
鉺 、 銩 、 鐿 、 鎦 )
• 磁 光 材 料 ( 主 要 稀 土 : 釔 、 釹 、 釓 、 鋱 、 鏑 )
2. 照 明 及 顯 示 器
• 薄 膜 電 晶 體 液 晶 顯 示 器 (LCD)( 主 要 稀 土 :
釹 、 釔 、 鑭 )
• 感 測 器 ( 主 要 稀 土 : 釔 、 鑭 )
• 光 學 玻 璃 ( 主 要 稀 土 : 釔 、 鑭 、 鈰 、 釓 、 銪 )
• 特 種 電 子 陶 瓷 材 料 ( 主 要 稀 土 : 釔 、 鑭 、 鈰 、
鐠 、 釹 、 釤 、 銪 、 釓 )
• 激 射 元 素 ( 主 要 稀 土 : 釔 、 釹 )
• 螢 光 粉 ( 主 要 稀 土 : 釔 、 鑭 、 鈰 、 釹 、 銪 、 鋱 )
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