Leiterbilderstellung; Fotodruck mit Trockenfilm ... - Basista Leiterplatten

VDE/VDI-SCHULUNGSBLÄTTER FÜR DIE LEITERPLATTENFERTIGUNG
Drucktechnische Verfahren
Leiterbilderstellung; Fotodruck mit
Trockenfilm- oder Flüssigresist
VDE/VDI
3711,
Blatt 5.4
Seite 32
gestimmt werden müssen. Grundsätzlich kann man zwar sagen, daß kurze Belichtungszeiten
auch kurze Entwicklungszeiten benötigen, es bedarf aber immer auf die praktische Anwendung
abgestimmter Versuche, um die gewünschten Ergebnisse in optimaler Weise zu
erzielen.
Man sollte sich nicht einzig auf die in der Industrie gängige Methode der Graukeilauswertung
verlassen, sondern auch Schliffbilder, Testvorlagen, Aufnahmen von Rasterelektronenmikroskopen
etc. mit in die Bewertung einbeziehen.
Temperaturschwankungen im Entwickler können z.B. große Unterschiede im Ergebnis hervorrufen.
Um besonders feine Auflösungen zu erzielen, sollte man auf jeden Fall mit sehr
kurzen Belichtungs- und Entwicklungszeiten experimentieren und die Temperatur der Entwicklungslösung
eventuell auch unter die empfohlene Mindesttemperatur des Resistherstellers
bringen. Man wird auch beachten müssen, daß die Resiste unterschiedlicher Hersteller
sehr verschiedene Ergebnisse bezüglich Feinstrukturauflösung zeigen können.
Generell gilt für höchstmögliche Auflösung: Kurze Belichtungszeiten, mit Hochleistungsbelichtern
ohne Haltezeit belichten.
6.2 Optik
6.2.1 Deklination
Zur Klärung des Begriffs Deklination, stellen wir uns zunächst eine streng punktförmige
Lichtquelle vor (z.B. ein Fixstern), die radial in alle Richtungen strahlt. In den uns interessierenden
Teil des Lichtwegs schieben wir eine Blende mit streng punktförmiger Öffnung und
betrachten auf einer parallel darunterliegenden Bildebene das Auftreffen der Lichtstrahlen. In
Bild 6.1a sind Lochblende und Lichtquelle derart angeordnet, daß der "einzige" Strahl durch
die Lochblende genau senkrecht auf die Belichtungsebene auftrifft. In Bild 6.1b sind Lochblende
und Lichtquelle gegeneinander verschoben; der Lichtstrahl durch die Lochblende trifft
nicht mehr senkrecht auf die Bildebene. Der Winkel, dessen einer Schenkel das Lot von der
Lichtquelle auf die Belichtungsebene und dessen anderer Schenkel der Lichtstrahl bildet,
wird als Deklination definiert (Winkel in Bild 6.1b). Die Deklination läßt sich somit als Abweichung
des Lichtstrahls vom senkrechten Einfall auf die Belichtungsebene verstehen. Im Gegensatz
zu Bild 6.1b ist in Bild 6.1a diese Abweichung null und somit ist auch der Deklinationswinkel
null.