Leiterbilderstellung; Fotodruck mit Trockenfilm ... - Basista Leiterplatten
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VDE/VDI-SCHULUNGSBLÄTTER FÜR DIE LEITERPLATTENFERTIGUNG<br />
Drucktechnische Verfahren<br />
<strong>Leiterbilderstellung</strong>; <strong>Fotodruck</strong> <strong>mit</strong><br />
<strong>Trockenfilm</strong>- oder Flüssigresist<br />
Ein großer Kollimationswinkel bringt ähnliche Ergebnisse:<br />
VDE/VDI<br />
3711,<br />
Blatt 5.4<br />
Seite 38<br />
Hierbei kann sich eine Unterstrahlung auf beiden Seiten der geschwärzten Fläche des Films<br />
zeigen, so daß nach dem Entwickeln auch auf beiden Seiten ein deutlicher Undercut auftritt.<br />
In der Praxis kann der Undercut durchaus 5 bis 10 µm betragen und dadurch die Geometrie<br />
schmaler Leiter wesentlich beeinflussen. Aus den Bildern wird auch ersichtlich, daß die Dikke<br />
des Fotoresists den Undercut entscheidend beeinflußt. Je feiner die aufzulösenden<br />
Strukturen sein sollen, um so notwendiger ist es, die Parallelität des Lichts zu verbessern<br />
oder aber die Schichtstärke des Resists zu reduzieren. Hierbei sind Flüssigresiste den<br />
Festresisten überlegen (Bild 6.8)<br />
UV-Licht<br />
Leiterbreite/-abstand<br />
100µm 100µm<br />
100µm<br />
<strong>Trockenfilm</strong><br />
A B<br />
Film<br />
Kupfer<br />
<strong>Trockenfilm</strong><br />
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Flüssigresist<br />
Bild 6.8: Einfluß der Resistdicke und Lichtqualität auf die Auflösung (Werksbild<br />
Multiline)<br />
Deutlicher werden die Fehler von schlecht dekliniertem und kollimiertem Licht ausgeprägt,<br />
wenn anstelle des hier dargestellten „harten Kontakts", d.h. zwischen Film und Fotoresist ist<br />
der Abstand null, im sogenannten „Off-Contact“-Verfahren gearbeitet wird. Hierbei ist der<br />
Abstand zwischen Film und Fotoresist in der Größenordnung von 0,1 mm.<br />
6.4 Belichtungsgeräte<br />
Bei den Belichtungsgeräten gibt es grundsätzliche Unterschiede zu beachten:<br />
1) Stehende Lichtquelle / bewegte Lichtquelle<br />
2) Streulicht / kollimiertes Licht<br />
3) Manuelle Beladung / automatische Beladung<br />
4) Registrierung von Film zu Produktionszuschnitt über Stifte / Registrierung von<br />
Film zum Produktionszuschnitt über automatisch optische Kamerasysteme.<br />
zu 1) Das System der bewegten Lichtquelle, bei der ein sehr stark rechteckiges, verspiegeltes<br />
Lampengehäuse <strong>mit</strong> den eingebauten Lampen über den Produktionszuschnitt fährt,<br />
ist heute kaum noch in der Anwendung, allenfalls zur Belichtung übergroßer Zuschnitte.
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