Leiterbilderstellung; Fotodruck mit Trockenfilm ... - Basista Leiterplatten

VDE/VDI-SCHULUNGSBLÄTTER FÜR DIE LEITERPLATTENFERTIGUNG
Drucktechnische Verfahren
Leiterbilderstellung; Fotodruck mit
Trockenfilm- oder Flüssigresist
VDE/VDI
3711,
Blatt 5.4
Seite 50
Die Gesamttoleranz ergibt sich dann mathematisch aus der Quadratwurzel der Quadratsummen
der Toleranzen der Einzeleinflüsse (siehe Kapitel 10):
2 2 2
F = x1 + x2 + x3 + ...
Die Berechnung zeigt, daß eine Pinregistrierung eine um etwa 10 µm höhere Toleranz als
ein optisches System bei gleichen Grundbedingungen zeigt. Dieser Toleranzwert wird auch
durch die Praxis bestätigt.
7 Entwickeln
Bei der Entwicklung werden die nach dem Belichten des negativ arbeitenden Fotoresists unpolymerisiert
gebliebener Resistflächen rückstandsfrei entfernt, die belichteten polymerisierten
Stellen verbleiben. Dabei geht man von folgendem Prinzip aus:
Die Binder eines Fotoresists enthalten typischerweise organische Säuregruppen, die mit
freien OH-Ionen der Entwicklerlösung reagieren und damit wasserlöslich werden (siehe auch
Kapitel 4.1.2.1). Diese Reaktion bringt den Binder in eine wasserlösliche Form, vorausgesetzt,
die Anzahl der reagierenden Säuregruppen ist groß genug, um die hydrophoben
Kräfte innerhalb der Polymerkette des Binders zu überwinden. Keine der anderen Komponenten
des Resists reagiert mit den OH-Ionen des Entwicklers und sind daher nicht in der
Lage, wasserlöslich zu werden.
Während des Entwickelns wirkt der Binder als oberflächenaktives Agent, das in der Lage ist,
alle anderen organischen Bestandteile des Resists in wäßriger Lösung zu suspendieren.
Wenn dies nicht der Fall wäre, dann würde ein Ausfallen verschiedener Resistkomponenten
auf der Kupferoberfläche des Basismaterials und/oder den Maschinenwänden und Transportsystem
die Folge sein. Derartige Reaktionen werden häufig beobachtet, wenn Entwicklerlösungen
mit hohen Resistmengen beladen sind. Die Sodakonzentration soll deshalb
durch Ergänzungen, die vom Resistdurchsatz abhängig sind, konstant gehalten werden.
Hierbei hat sich vor allem die Messung der Leitfähigkeit bewährt. Die Steuerung der Zudosierung
über die Leitfähigkeit (Leitwert) ermöglicht eine Konstanz der Sodakonzentration von
0,05 Gew.%.
Anmerkung: Das Belichten und Entwickeln sind als zwei sich gegenseitig beeinflussende
Prozesse zu sehen. Zur Erzielung optimaler Ergebnisse müssen daher beide Prozeßschritte
aufeinander abgestimmt werden. Zur Abstimmung der Prozeßschritte ist der Graukeil das
geeignetste Hilfsmittel.
7.1 Entwicklungsverfahren
Folgende Entwicklungsverfahren werden angewendet:
• Sprühentwicklung in einer horizontalen Durchlaufmaschine
• Tanksprühentwicklungsanlagen mit vertikaler Arbeitsweise, keine Transportrollen
• Tauchentwicklungsanlagen