Carolo-Wilhelmina - Technische Universität Braunschweig
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42 <strong>Carolo</strong>-<strong>Wilhelmina</strong><br />
werden meist nacheinander mehrere unterschiedliche<br />
Liniengitter projiziert.<br />
Weite Verbreitung haben Auswertealgorithmen<br />
nach dem Phasenschiebeverfahren<br />
oder dem von Professor Dr. Friedrich Wahl,<br />
TU-Institut für Robotik und Prozessinformatik,<br />
erfundenen binären Graycode-Algorithmus<br />
beziehungsweise einer Kombination<br />
beider Ansätze gefunden. Ergebnis ist eine<br />
aus mehreren 1.000 Messpunkten bestehende<br />
Punktwolke (Abb. 2c), die durch so<br />
genannte Flächenrückführungs- und Renderingsoftware<br />
in eine realitätsnahe graphische<br />
Darstellung des Objektes überführt<br />
werden kann (Abb. 2d).<br />
Optische 3-D-Messtechnik ist ein derzeit<br />
stark wachsender Markt mit zuletzt circa<br />
30 Prozent Umsatzplus. Nach einer Schätzung<br />
des Verbandes der Investitionsgüterindustrie<br />
(VDMA) sind erst 15 bis 20 Prozent<br />
des Marktes erschlossen.<br />
Weiterer Forschungsbedarf<br />
vorhanden<br />
Es gibt bereits zahlreiche marktreife kommerzielle<br />
Lösungen, nicht zuletzt von mehreren<br />
<strong>Braunschweig</strong>er Unternehmen. Dennoch<br />
besteht für viele mögliche Anwendungsfälle<br />
noch Forschungsbedarf. Drei<br />
Beispiele aus aktuellen Projekten des<br />
IPROM sollen dies belegen:<br />
ABBILDUNG 5<br />
Komponente eines Mikromotors und Kopf eines<br />
Hundeflohs als Beispiele für Rasterelektronenmikroskop-Aufnahmen.<br />
■ Für Werkstücke mit spiegelnder Oberfläche<br />
sind die vorab beschriebenen Verfahren<br />
nicht anzuwenden, da weder<br />
Strukturen auf der Oberfläche sichtbar<br />
sind noch Muster auf die Oberfläche<br />
projiziert werden können. Bei einem am<br />
IPROM entwickelten Messsystem wird<br />
die Verzerrung eines Musters bei Spiegelung<br />
an der gekrümmten Oberfläche<br />
ausgewertet. Das Ergebnis der Messung<br />
an einem Kaffeelöffel ist in Abbildung 3<br />
dargestellt.<br />
■ Um die Positioniergenauigkeit von<br />
Industrierobotern zu erhöhen und um<br />
Toleranzen bei der Darbietung von<br />
Werkstücken zuzulassen, werden mittlerweile<br />
in vielen Fällen elektronische<br />
Sichtsysteme eingesetzt. Werden zwei<br />
Kameras genutzt, so kann der Roboter<br />
im dreidimensionalen Raum geführt<br />
werden. Das Auflösungsvermögen eines<br />
optischen 3-D-Messsystems ist umso<br />
besser, je kleiner das Messvolumen ist.<br />
Daher ist es vorteilhaft, mit den beiden<br />
Kameras nicht den gesamten Arbeitsbereich<br />
des Roboters auszuwerten, sondern<br />
sie an der Roboterhand zu befestigen<br />
und mitzuführen.<br />
Im Rahmen des Sonderforschungsbereiches<br />
»Aktive Mikrosysteme« soll eine<br />
derartige optische 3-D-Regelung für<br />
einen Mikromontageroboter entwickelt<br />
werden. Eine konventionelle Lösung mit<br />
zwei Kameras ist für diesen Anwendungsfall<br />
zu groß und zu schwer. Daher<br />
wird ein miniaturisierter photogrammetrischer<br />
3-D-Sensor entwickelt, der die<br />
ABBILDUNG 3<br />
Beispiel für die optische Messung der<br />
Gestalt eines spiegelnden Objekts.<br />
ABBILDUNG 4<br />
Miniaturisierter 3-D-Bildsensor.<br />
Integration in den kleinen Einbauraum<br />
ermöglicht (Abb. 4). Durch eine spezielle<br />
Strahlteileroptik gelingt die gleichzeitige<br />
Abbildung zweier Ansichten des Objekts<br />
auf den Bildsensor einer Miniaturkamera.<br />
Ein Funktionsmuster dieses<br />
Sensors wurde erfolgreich getestet, nun<br />
folgt der Bau eines Prototypen.<br />
■ Das Rasterelektronenmikroskop (REM)<br />
wurde 1939 von Manfred von Ardenne<br />
erfunden und ist heute ein äußerst leistungsfähiges<br />
Instrument zur Untersuchung<br />
mikroskopischer und nanoskopischer<br />
Strukturen. Typische REM-Bilder<br />
(Abb. 5) erwecken einen plastischen<br />
Eindruck, der allerdings durch die im<br />
Vergleich mit optischen Mikroskopen<br />
große Schärfentiefe lediglich vorgetäuscht<br />
ist. Auch REM-Bilder sind zweidimensional.<br />
Allerdings lässt sich das<br />
Prinzip der photogrammetrischen Auswertung<br />
auf das Rasterelektronenmikroskop<br />
übertragen. Natürlich ist es nicht<br />
sinnvoll, das Mikroskop um das Objekt<br />
herum zu bewegen, stattdessen wird die<br />
Probe auf einem Kipp-/Schwenktisch in<br />
unterschiedliche Orientierungen relativ<br />
zum abtastenden Elektronenstrahl<br />
gebracht. Der photogrammetrische Ansatz<br />
konnte am IPROM anhand mehrerer<br />
Messreihen verifiziert werden. Zurzeit<br />
wird die erreichbare Genauigkeit<br />
analysiert, und es werden spezifische<br />
Kalibrieralgorithmen erarbeitet. Ziel ist<br />
die hochaufgelöste 3-D-Messung an<br />
Mikrobauteilen.<br />
<strong>Carolo</strong>-<strong>Wilhelmina</strong> 2/2002