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Carolo-Wilhelmina - Technische Universität Braunschweig

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42 <strong>Carolo</strong>-<strong>Wilhelmina</strong><br />

werden meist nacheinander mehrere unterschiedliche<br />

Liniengitter projiziert.<br />

Weite Verbreitung haben Auswertealgorithmen<br />

nach dem Phasenschiebeverfahren<br />

oder dem von Professor Dr. Friedrich Wahl,<br />

TU-Institut für Robotik und Prozessinformatik,<br />

erfundenen binären Graycode-Algorithmus<br />

beziehungsweise einer Kombination<br />

beider Ansätze gefunden. Ergebnis ist eine<br />

aus mehreren 1.000 Messpunkten bestehende<br />

Punktwolke (Abb. 2c), die durch so<br />

genannte Flächenrückführungs- und Renderingsoftware<br />

in eine realitätsnahe graphische<br />

Darstellung des Objektes überführt<br />

werden kann (Abb. 2d).<br />

Optische 3-D-Messtechnik ist ein derzeit<br />

stark wachsender Markt mit zuletzt circa<br />

30 Prozent Umsatzplus. Nach einer Schätzung<br />

des Verbandes der Investitionsgüterindustrie<br />

(VDMA) sind erst 15 bis 20 Prozent<br />

des Marktes erschlossen.<br />

Weiterer Forschungsbedarf<br />

vorhanden<br />

Es gibt bereits zahlreiche marktreife kommerzielle<br />

Lösungen, nicht zuletzt von mehreren<br />

<strong>Braunschweig</strong>er Unternehmen. Dennoch<br />

besteht für viele mögliche Anwendungsfälle<br />

noch Forschungsbedarf. Drei<br />

Beispiele aus aktuellen Projekten des<br />

IPROM sollen dies belegen:<br />

ABBILDUNG 5<br />

Komponente eines Mikromotors und Kopf eines<br />

Hundeflohs als Beispiele für Rasterelektronenmikroskop-Aufnahmen.<br />

■ Für Werkstücke mit spiegelnder Oberfläche<br />

sind die vorab beschriebenen Verfahren<br />

nicht anzuwenden, da weder<br />

Strukturen auf der Oberfläche sichtbar<br />

sind noch Muster auf die Oberfläche<br />

projiziert werden können. Bei einem am<br />

IPROM entwickelten Messsystem wird<br />

die Verzerrung eines Musters bei Spiegelung<br />

an der gekrümmten Oberfläche<br />

ausgewertet. Das Ergebnis der Messung<br />

an einem Kaffeelöffel ist in Abbildung 3<br />

dargestellt.<br />

■ Um die Positioniergenauigkeit von<br />

Industrierobotern zu erhöhen und um<br />

Toleranzen bei der Darbietung von<br />

Werkstücken zuzulassen, werden mittlerweile<br />

in vielen Fällen elektronische<br />

Sichtsysteme eingesetzt. Werden zwei<br />

Kameras genutzt, so kann der Roboter<br />

im dreidimensionalen Raum geführt<br />

werden. Das Auflösungsvermögen eines<br />

optischen 3-D-Messsystems ist umso<br />

besser, je kleiner das Messvolumen ist.<br />

Daher ist es vorteilhaft, mit den beiden<br />

Kameras nicht den gesamten Arbeitsbereich<br />

des Roboters auszuwerten, sondern<br />

sie an der Roboterhand zu befestigen<br />

und mitzuführen.<br />

Im Rahmen des Sonderforschungsbereiches<br />

»Aktive Mikrosysteme« soll eine<br />

derartige optische 3-D-Regelung für<br />

einen Mikromontageroboter entwickelt<br />

werden. Eine konventionelle Lösung mit<br />

zwei Kameras ist für diesen Anwendungsfall<br />

zu groß und zu schwer. Daher<br />

wird ein miniaturisierter photogrammetrischer<br />

3-D-Sensor entwickelt, der die<br />

ABBILDUNG 3<br />

Beispiel für die optische Messung der<br />

Gestalt eines spiegelnden Objekts.<br />

ABBILDUNG 4<br />

Miniaturisierter 3-D-Bildsensor.<br />

Integration in den kleinen Einbauraum<br />

ermöglicht (Abb. 4). Durch eine spezielle<br />

Strahlteileroptik gelingt die gleichzeitige<br />

Abbildung zweier Ansichten des Objekts<br />

auf den Bildsensor einer Miniaturkamera.<br />

Ein Funktionsmuster dieses<br />

Sensors wurde erfolgreich getestet, nun<br />

folgt der Bau eines Prototypen.<br />

■ Das Rasterelektronenmikroskop (REM)<br />

wurde 1939 von Manfred von Ardenne<br />

erfunden und ist heute ein äußerst leistungsfähiges<br />

Instrument zur Untersuchung<br />

mikroskopischer und nanoskopischer<br />

Strukturen. Typische REM-Bilder<br />

(Abb. 5) erwecken einen plastischen<br />

Eindruck, der allerdings durch die im<br />

Vergleich mit optischen Mikroskopen<br />

große Schärfentiefe lediglich vorgetäuscht<br />

ist. Auch REM-Bilder sind zweidimensional.<br />

Allerdings lässt sich das<br />

Prinzip der photogrammetrischen Auswertung<br />

auf das Rasterelektronenmikroskop<br />

übertragen. Natürlich ist es nicht<br />

sinnvoll, das Mikroskop um das Objekt<br />

herum zu bewegen, stattdessen wird die<br />

Probe auf einem Kipp-/Schwenktisch in<br />

unterschiedliche Orientierungen relativ<br />

zum abtastenden Elektronenstrahl<br />

gebracht. Der photogrammetrische Ansatz<br />

konnte am IPROM anhand mehrerer<br />

Messreihen verifiziert werden. Zurzeit<br />

wird die erreichbare Genauigkeit<br />

analysiert, und es werden spezifische<br />

Kalibrieralgorithmen erarbeitet. Ziel ist<br />

die hochaufgelöste 3-D-Messung an<br />

Mikrobauteilen.<br />

<strong>Carolo</strong>-<strong>Wilhelmina</strong> 2/2002

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