Jahresbericht 2009 - IMMS Institut für Mikroelektronik

VERDIAN
„Das Projekt VERDIAN ist der bisherige Höhepunkt in der
langjährigen, sehr engen und fruchtbaren Zusammen-
arbeit in Forschung und Entwicklung mit dem IMMS. In
diesem Projekt entstanden neue Technologien, Hard- und Soft-
warekomponenten für die Direktantriebstechnik, die wir in
verschiedene Produkte der TETRA implementieren. Ein heraus-
ragendes Beispiel dafür ist der 3D-Messkopf mit sensorintegrier-
ter Signalverarbeitung und Anbindung an einen Echtzeit-Bus.
Ausgehend davon konnten bereits während der Projektlaufzeit aus dem F&E-
Ergebnis mehrere eigenständige Produkte entwickelt werden. Die Zusammen-
arbeit mit dem IMMS ist für uns wichtiger Bestandteil der Sicherung unserer
führenden Marktposition.“
Olaf Mollenhauer, Geschäftsführender Gesellschafter
TETRA Gesellschaft für Sensorik, Robotik und Automation mbH
SKALIERBARES MEHRKOORDINATEN-
DIREKTANTRIEBSSYSTEM FÜR DIE PRÄZISIONSFERTIGUNG
Moderne Präzisionsfertigungstechnologien und die
Präzisionsmesstechnik verlangen nach hochdynamischen
mehrachsigen Positionierbewegungen mit
Positionier- und Bahngenauigkeiten im sub-µm-Bereich.
Dies können planare Bewegungen für z.B. die
Laserpräzisionsbearbeitung von Blechteilen oder die
Inspektion von Masken für die Chipfertigung sein.
Aber auch räumliche Bahnkurven für die Herstellung
von Stents, chirurgischen Nadeln und Instrumenten
oder für die 3D-Messtechnik gewinnen zunehmend
an Bedeutung. Die Bewegungsbereiche dafür reichen
derzeit von 100 mm bis 1.000 mm je Achsrichtung.
Jahresbericht 2009 I Verdian – Direktantrieb
Für diese Arten der Präzisionsfertigung werden zunehmend
Direktantriebsysteme eingesetzt, die sich in
einem Mehrkoordinatensystem bewegen.
ENTWICKLUNGSZIELE
Um die zukünftigen Anforderungen an Direktantriebssysteme
bzgl. Bewegungsbereich und Genauigkeit
zu erfüllen, wurde das Forschungsverbundprojekt
„Vernetzte integrierte magnetische Direktantriebe
VERDIAN“ ins Leben gerufen. Hier forschten und entwickelten
zehn Unternehmen und zwei Forschungs-
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